[发明专利]一种测量自由曲面面型的装置和方法

权利要求书

1.一种测量自由曲面面型的装置，其特征在于，包括：

电致发光膜照明部分和光学成像测量部分(9)；

所述的电致发光膜照明部分由待测样品(1)、镀在样品(1)表面的电致发光薄膜(2)成，所述的电致发光薄膜(2)上有微电极；

所述的光学成像测量部分(9)沿收集光信号传播方向依次设置物镜(3)、滤光片(4)、管镜(5)、分光镜(6)、第一CCD(7)和第二CCD(8)；

所述的第一CCD(7)和第二CCD(8)对称离焦放置。

2.根据权利要求1所述的测量自由曲面面型的装置，其特征在于，所述的电致发光薄膜由厚度均匀的阴极层、发光层和透明阳极层组成，总厚度不超过4μm，发光层厚度不超过1μm，所述的发光层为有机物层，由电子传输层、单色有机发光层和空穴注入层组成，所述的阴极层、发光层和透明阳极层均为单个封闭区域；所述的微电极的正极连接透明阳极层，负极连接阴极层。

3.一种在权利要求1所述的测量自由曲面面型的装置上实现的测量自由曲面面型的方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，在待测样品(1)表面生成电致发光薄膜(2)，所述的电致发光薄膜由厚度均匀的阴极层、发光层和透明阳极层组成，总厚度不超过4μm，发光层厚度不超过1μm，所述的发光层为有机物层，由电子传输层、单色有机发光层和空穴注入层组成，所述的阴极层、发光层和透明阳极层均为单个封闭区域；电致发光薄膜(2)上有微电极，所述的微电极的正极连接透明阳极层，负极连接阴极层；

第二步，给微电极通直流电，使电致发光薄膜发光，完成待测样品(1)表面电致发光膜的发光工作；调节物镜(3)与样品(1)之间的距离，设置物镜(3)总运动行程a，物镜(3)步进距离b，令变量i等于0；

第三步，令物镜(3)沿轴向运动一个距离b；

第四步，两个CCD拍摄图像，获取二维数据D_xym和D_xyn；

第五步，将D_xym和D_xyn做差，获取二维数据D_xyi，并令变量i加1；

第六步，判断i*b是否大于或等于a，如果是则进入第七步，否则重复第三步到第五步；

第七步，将所有轴向位置测量所得的二维数据Dxyi组成三维矩阵，对于每个像素点xy沿z抽取一维数组，找到该数组中零点，并记录该零点所对应的轴向位置；

第八步，所有xy像素所记录的轴向位置及xy像素对应的位置组合，从而重构出样品(1)表面面型。

4.根据权利要求3所述的测量自由曲面面型的方法，其特征在于，还包括第九步，清洗掉待测样品(1)表面的电致发光薄膜(2)。