[发明专利]一种间歇悬浮式厚胶显影方法

权利要求书

1.一种间歇悬浮式厚胶显影方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：机械手从送片盒取来曝光后的晶片，经校准机构校准后，置于显影腔体中；

步骤2：安装有显影液喷头的摆臂摆动至显影晶片上方，打开显影液喷头，喷洒少量显影液后关闭显影液喷头，晶片进行显影；

步骤3：10min后，再次打开显影液喷头，喷洒新的显影液，继续进行显影；根据胶层的厚度，上述工艺步骤可重复若干次，效果更好；

步骤4：显影结束后，安装有漂洗液和去离子水喷头的摆臂摆动至显影后的晶片上方，对晶片进行清洗；

步骤5：清洗结束后，承片台电机高速旋转，将晶片甩干；

步骤6：机械手将显影完的晶片从显影腔体中取出，置于热板中进行坚膜；

步骤7：最后，机械手从热板中取出，置于收片盒中；单个晶片的显影方法结束；

步骤8：机械手继续从送片盒取片，进行下一片的显影，直至整盒晶片显影完毕。

2.如权利要求1一种间歇悬浮式厚胶显影方法，其特征在于：所述的显影技术采用双显影腔，多层热板的结构。