[发明专利]用于升华型OLED材料蒸镀的坩埚有效
| 申请号： | 201410593595.6 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104404450B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘亚伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 上盖部 蒸镀 坩埚 升华型 锥度 充分接触 顶端中心 内壁设计 重力作用 坩埚内壁 受热 出气孔 内表面 下沉 升华 保证 | ||
1.一种用于升华型OLED材料蒸镀的坩埚，包括本体部(1)及连接于所述本体部(1)的上盖部(2)，所述上盖部(2)的顶端中心设有一出气孔(21)，其特征在于，所述本体部(1)的内侧面具有锥度，且所述本体部(1)靠近上盖部(2)一侧的内径大于本体部(1)远离上盖部(2)一侧的内径；所述本体部(1)的内底面为平面；随着靠近所述内底面，所述本体部(1)的内径呈线性减小；
所述坩埚内壁的表面粗糙度为Ra.0～Ra.15；
所述本体部(1)的内侧面与竖直方向的夹角为5～25度；
所述上盖部(2)包括一基部(22)及连接于所述基部(22)的出气部(23)，所述出气孔(21)设于出气部(23)的中心；所述基部(22)的外表面呈圆柱状，所述出气部(23)的外表面呈圆台状，所述本体部(1)的外表面呈圆柱状；
所述升华型OLED材料为用于成膜OLED有机层的有机材料或用于成膜OLED金属阴极及LiF无机材料。
2.如权利要求1所述的用于升华型OLED材料蒸镀的坩埚，其特征在于，所述坩埚的材料为不锈钢、钛或铝。
3.如权利要求1所述的用于升华型OLED材料蒸镀的坩埚，其特征在于，所述基部(22)的外径大于本体部(1)的外径，所述本体部(1)的外径大于出气部(23)的外径。
4.如权利要求3所述的用于升华型OLED材料蒸镀的坩埚，其特征在于，所述出气部(23)靠近基部(22)一侧的外径大于出气部(23)远离基部(22)一侧的外径。
5.如权利要求4所述的用于升华型OLED材料蒸镀的坩埚，其特征在于，所述基部(22)的内径大于本体部(1)的内径，所述本体部(1)的内径大于出气孔(21)的直径。
6.如权利要求5所述的用于升华型OLED材料蒸镀的坩埚，其特征在于，所述出气孔(21)靠近基部(22)一侧的直径大于出气孔(21)远离基部(22)一侧的直径。
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