[发明专利]CDM静电保护电路在审

专利信息
申请号: 201410555109.1 申请日: 2014-10-17
公开(公告)号: CN104319271A 公开(公告)日: 2015-01-28
发明(设计)人: 单毅 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: H01L23/60 分类号: H01L23/60
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: cdm 静电 保护 电路
【说明书】:

技术领域

发明涉及集成电路静电保护电路设计领域,尤其涉及一种CDM静电保护电路。

背景技术

集成电路在制造、装配和测试或在最终的应用中,很容易遭受到制造或者使用过程中的破坏性静电放电(ESD),从而使得集成电路受到静电的损伤。

ESD通常由高压电势(例如几千伏)放电产生,并且导致短持续时间高电流的脉冲。ESD测试模型通常分为三类,第一类是由于人与IC接触产生,通常对应该类型的ESD可以制作HBM(human body model)类型的ESD保护电路,HBM类型的ESD脉冲上升时间大约为10ns;第二类是由于机械设备与IC的接触而产生,通常对应该类型的ESD可以制作MM(machine model)类型的ESD保护电路;第三类是由于IC自身的带电而产生,其放电可以通过IC的单个引脚发生,这种类型的ESD可以制作CDM(charged-device-model)类型的ESD保护电路来进行放电保护,而CDM类型的ESD脉冲上升时间为小于0.2ns。

HBM类型和MM类型的ESD保护电路通常通过和IC输入/输出引脚耦接的放电电路实现,从而将IC输入/输出引脚上的静电释放掉,减小IC静电对内部的功能单元的损伤。而对于CDM类型ESD,电荷通常积聚在衬底内,因此CDM ESD保护电路需要将电荷从衬底内释放掉。为了保护IC免受CDM ESD的损伤,在现有技术中,如图1所示,通常将衬底(GND端)和输入/输出引脚13之间设置ESD保护单元11,ESD保护单元11包括两级保护电路,两级保护电路之间通过串联一电阻12,ESD保护单元在衬底和输入/输出引脚13之间形成放电通道,该放电通道在IC正常工作期间不工作,即表现出低泄露,即高电阻率,在ESD放电期间工作,即表现出低电阻率,形成放电通路,从而将衬底内的电荷释放。但是,由于ESD脉冲的电压太高,时间太短,功能单元10的MOS晶体管的栅氧非常容易被击穿。

同样的,在图2中所示的ESD静电保护电路,尽管在功能单元20的衬底(接GND端)和输入/输出引脚23之间设置了ESD静电保护单元21,静电保护单元21的两级保护电路之间串联一电阻22。在产生静电脉冲时,功能单元20中的MOS晶体管的栅氧很容易被击穿。

发明内容

本发明的目的在于,提供一种CDM静电保护电路,避免电路中短时间内上升的静电脉冲高电压导致功能单元的MOS晶体管的栅氧被击穿。

为解决上述技术问题,本发明提供一种CDM静电保护电路,包括:

输入/输出引脚、电源输出端、接地端以及功能单元,所述功能单元分别与所述输入/输出引脚、所述电源输出端和所述接地端连接;

第一级保护单元,所述第一级保护单元分别与所述电源输出端和所述接地端连接;

第二级保护单元,所述第二级保护单元分别与所述电源输出端和所述接地端连接,并且,所述第一级保护单元与所述第二级保护单元之间串联有一电感线圈;以及

钳位电路,所述钳位电路与所述电源输出端和所述接地端连接。

可选的,所述电感线圈为环形结构。

可选的,所述电感线圈为金属线圈或多晶硅线圈。

可选的,所述电感线圈位于所述功能单元和所述输入/输出引脚之间。

可选的,所述电感线圈位于所述输入/输出引脚下方,贴近所述输入/输出引脚。

可选的,所述第一级保护单元包括第一PMOS晶体管和第一NMOS晶体管,所述第一PMOS晶体管和所述第一NMOS晶体管的漏极相连。

可选的,所述第一PMOS晶体管的栅极通过电阻接电源输出端,所述第一NMOS晶体管的栅极通过电阻接地。

可选的,所述第二级保护单元包括第二PMOS晶体管和第二NMOS晶体管,所述第二PMOS晶体管和所述第二NMOS晶体管的漏极相连。

可选的,所述第二PMOS晶体管的栅极和源极接电源输出端,所述第二NMOS晶体管的栅极和源极接地。

可选的,所述第一级保护单元包括第一NMOS晶体管,所述第一NMOS晶体管的漏极接所述输入/输出引脚。

可选的,所述第二级保护单元包括第二NMOS晶体管,所述第二NMOS晶体管的漏极接所述输入/输出引脚。

可选的,所述钳位电路包括电阻、电容和NMOS晶体管,所述NMOS晶体管的栅极连接所述电阻和所述电容。

可选的,所述功能单元包括PMOS晶体管和NMOS晶体管,所述PMOS晶体管和所述NMOS晶体管的栅极相连,所述栅极连接所述输入/输出引脚。

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