[发明专利]用于栅控二极管的建模方法和模型电路在审

专利信息
申请号: 201410554708.1 申请日: 2014-10-17
公开(公告)号: CN105512353A 公开(公告)日: 2016-04-20
发明(设计)人: 甘正浩;张安 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京市磐华律师事务所 11336 代理人: 董巍;高伟
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 二极管 建模 方法 模型 电路
【说明书】:

技术领域

发明涉及半导体技术领域,具体而言涉及一种用于栅控二极管 (gateddiode)的建模方法和模型电路。

背景技术

近年来,栅控二极管获得了广泛的应用。与常规二极管例如常规 浅沟槽隔离(ShallowTrenchIsolation,STI)二极管相比,栅控二极管 因其具有较低的串联电阻而具有较高的静电放电(ESD)保护性能。 栅控二极管还具有较好的品质因子(Q-factor)用于射频(RF)应用。 因此,为了预测栅控二极管在其所处的环境中的性能和可靠性,需要 对栅控二极管进行仿真。现有的用于常规二极管的SPICE模型不能 很好地描述栅控二极管。

发明内容

本发明提供一种用于栅控二极管的模型电路,所述模型电路包括 二极管、电阻以及电流源。其中,所述二极管与所述电阻串联连接在 正极(Anode)和负极(Cathode)之间;以及所述电流源与所述二极 管和所述电阻并联连接在所述正极和所述负极之间。

在本发明的一个实施例中,所述电流源为压控电流源 (voltage-controlled-current-source)。

在本发明的一个实施例中,所述压控电流源中的电流以指数方式 依赖于所述正极与所述负极之间的电压。

在本发明的一个实施例中,所述压控电流源中的电流用等式表示 为:

IVCCS=apre·W·Nf·Vna·exp(-α/V)+bpre·W·Nf·Vnb·exp((β·V)/T-(q·φb)/k·T)]]>

其中,W是扩散宽度(diffusionwidth),Nf是指状分支数目(finger number),na、nb、apre、bpre、α、β以及Φb是被提取的参数,V是 所述正极与所述负极之间的电压,T是温度,q是电子电荷(electron charge),k是玻尔兹曼(Boltzman)常数。

在本发明的一个实施例中,所述二极管和所述电阻与常规二极管 的等效电路模型中的二极管和电阻相同。

在本发明的一个实施例中,所述常规二极管为浅沟槽隔离二极 管。

在本发明的一个实施例中,所述电路还包括开关,所述开关用于 控制所述电流源所在的支路的通断。

本发明还提供一种用于栅控二极管的建模方法,所述建模方法包 括:建立常规二极管的等效电路模型,其中所述等效电路模型包括二 极管和电阻,所述二极管与所述电阻串联连接在正极和负极之间;以 及添加电流源并使所述电流源与所述二极管和所述电阻并联连接在 所述正极和所述负极之间。

在本发明的一个实施例中,所述电流源为压控电流源。

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