[发明专利]用于栅控二极管的建模方法和模型电路在审
| 申请号: | 201410554708.1 | 申请日: | 2014-10-17 |
| 公开(公告)号: | CN105512353A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
| 发明(设计)人: | 甘正浩;张安 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
| 代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 董巍;高伟 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 二极管 建模 方法 模型 电路 | ||
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,具体而言涉及一种用于栅控二极管 (gateddiode)的建模方法和模型电路。
背景技术
近年来,栅控二极管获得了广泛的应用。与常规二极管例如常规 浅沟槽隔离(ShallowTrenchIsolation,STI)二极管相比,栅控二极管 因其具有较低的串联电阻而具有较高的静电放电(ESD)保护性能。 栅控二极管还具有较好的品质因子(Q-factor)用于射频(RF)应用。 因此,为了预测栅控二极管在其所处的环境中的性能和可靠性,需要 对栅控二极管进行仿真。现有的用于常规二极管的SPICE模型不能 很好地描述栅控二极管。
发明内容
本发明提供一种用于栅控二极管的模型电路,所述模型电路包括 二极管、电阻以及电流源。其中,所述二极管与所述电阻串联连接在 正极(Anode)和负极(Cathode)之间;以及所述电流源与所述二极 管和所述电阻并联连接在所述正极和所述负极之间。
在本发明的一个实施例中,所述电流源为压控电流源 (voltage-controlled-current-source)。
在本发明的一个实施例中,所述压控电流源中的电流以指数方式 依赖于所述正极与所述负极之间的电压。
在本发明的一个实施例中,所述压控电流源中的电流用等式表示 为:
其中,W是扩散宽度(diffusionwidth),Nf是指状分支数目(finger number),na、nb、apre、bpre、α、β以及Φb是被提取的参数,V是 所述正极与所述负极之间的电压,T是温度,q是电子电荷(electron charge),k是玻尔兹曼(Boltzman)常数。
在本发明的一个实施例中,所述二极管和所述电阻与常规二极管 的等效电路模型中的二极管和电阻相同。
在本发明的一个实施例中,所述常规二极管为浅沟槽隔离二极 管。
在本发明的一个实施例中,所述电路还包括开关,所述开关用于 控制所述电流源所在的支路的通断。
本发明还提供一种用于栅控二极管的建模方法,所述建模方法包 括:建立常规二极管的等效电路模型,其中所述等效电路模型包括二 极管和电阻,所述二极管与所述电阻串联连接在正极和负极之间;以 及添加电流源并使所述电流源与所述二极管和所述电阻并联连接在 所述正极和所述负极之间。
在本发明的一个实施例中,所述电流源为压控电流源。
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