[发明专利]固体摄像装置及固体摄像装置的制造方法

权利要求书

1.一种固体摄像装置，其特征在于，具备：

多个光电变换元件，具有第1导电型的半导体层、和以矩阵状2维排列在上述半导体层上的第2导电型的半导体区域，将入射光光电变换为电荷而储存；

沟槽，形成在相邻的上述光电变换元件间，从上述第1导电型的半导体层的表面朝向深度方向而形成；以及

第1导电型的半导体区域，包围上述沟槽的外周面而设置，含有活性化的第1导电型的杂质。

2.如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于，

上述第1导电型的半导体区域内的杂质通过激光退火处理而进行活性化。

3.如权利要求1或2所述的固体摄像装置，其特征在于，

上述第1导电型的半导体区域的杂质浓度比上述第1导电型的半导体层高。

4.一种固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：

通过在第1导电型的半导体层上将第2导电型的半导体区域以矩阵状2维排列而形成多个光电变换元件的工序；

在相邻的上述光电变换元件间、从上述第1导电型的半导体层的表面朝向深度方向形成沟槽的工序；以及

以包围上述沟槽的外周面的方式形成第1导电型的半导体区域的工序，该第1导电型的半导体区域含有活性化的第1导电型的杂质。

5.如权利要求4所述的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，

包括以将上述沟槽的外周面包围的方式注入第1导电型的杂质、并通过将该杂质利用激光退火处理进行活性化而形成上述第1导电型的半导体区域的工序。