[发明专利]一种用于光伏硅片的真空吸笔

权利要求书

1.一种用于光伏硅片的真空吸笔，其特征是，它包括气体进口通道管、子持部、气体通道管和吸盘，所述手持部一端连接气体进口通道管，另一端连接气体通道管，气体通道管的另一端连接吸盘;所述吸盘上的凹陷为阵列排布。

2.根据权利要求1 所述的一种用于光伏硅片的真空吸笔，其特征是所述吸盘材料为防静电、不挂尘的软膜材料，所述吸盘的形状为正方形。

3.根据权利要求1 或2 所述的一种用于光伏硅片的真空吸笔，其特征是所述吸盘上有一个凹陷阵列，所述问陷阵列和气体通道管相通，所述凹陷阵列和吸盘表面具有高度差，形成透气缝隙，所述凹陷阵列的长宽尺寸比吸盘的长宽尺寸小3~10mm 的圆形或正方形。

4.根据权利要求1 所述的一种用于光伏硅片的真空吸笔，其特征是所述气体通道管是吸盘和手持部中气体的流通通道，其形状为多弯折线的。

5.根据权利要求1 所述的一种用于光伏硅片的真空吸笔，其特征是所述手持部壁上有一个通气孔。