[发明专利]一种ALN压电薄膜在审
| 申请号： | 201410516015.3 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105529998A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 彭志刚 | 申请（专利权）人： | 天津市泛凯科贸有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 韩敏 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 aln 压电 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种ALN压电薄膜，其特征在于包括保护层(1)，ALN层(2)，二 氧化硅层(3)，其中二氧化硅层(3)位于所述ALN压电薄膜的下部，保护层 (1)位于所述ALN压电薄膜的上部，ALN层(2)上表面与保护层(1)相贴 合，ALN层(2)下表面与二氧化硅层(3)相贴合。
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