[发明专利]可自由调节的固定喷头及半导体清洗设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备，尤其涉及一种可自由调节的固定喷头及半导体清洗 设备。

背景技术

在多种半导体设备中，例如半导体清洗设备，都需要配置固定喷头，用于喷 出清洗液等液体。在不同的工艺腔体中，晶圆可能具有不同的姿态，例如其位置、 角度等各有不同，而目前的喷头大多是固定的，或者其调节的幅度较小，无法根据 晶圆的实际姿态进行充分调整。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种可自由调节的固定喷头及半导体清洗设 备，能够在水平面内、竖直面内等多个维度实现自由调节。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种可自由调节的固定喷头，包括：

竖直设置的竖轴；

夹持在所述竖轴上的第一夹具，该第一夹具在松弛状态下能沿所述竖轴上下 滑动并能绕所述竖轴在水平面转动，该第一夹具在夹紧状态下固定在所述竖轴上；

喷头，通过水平轴与所述第一夹具形成可转动连接，所述水平轴水平设置， 所述喷头能绕所述水平轴在竖直面转动。

根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括：绕所述水平轴旋转的第二夹 具，所述喷头固定夹持在所述第二夹具上。

根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括：

与所述第二夹具相固定的固定盘，该固定盘随所述第二夹具绕所述水平轴旋 转，所述固定盘上具有弧形限位槽，所述弧形限位槽的圆心位于所述水平轴上；

螺接在所述第一夹具上的螺丝，所述螺丝位于所述限位槽内，所述螺丝处于 松弛状态时，所述第二夹具和固定盘能绕所述水平轴旋转并由所述螺丝和限位槽限 位，所述螺丝处于旋紧状态时，所述固定盘和第二夹具相对于所述第一夹具固定。

根据本发明的一个实施例，所述弧形限位槽的圆心角小于180度。

根据本发明的一个实施例，所述喷头的数量为2个，且每一喷头具有独立的 第一夹具和第二夹具。

根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括：绕所述竖轴旋转的漏液盘， 所述漏液盘位于所述喷头的喷嘴下方。

根据本发明的一个实施例，该固定喷头还包括：与所述喷头的进液口相连的 接头。

本发明还提供了一种半导体清洗设备，包括上述任一项所述的可自由调节的 固定喷头。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明实施例的固定喷头中，喷头通过水平轴与第一夹具形成可转动连接， 而第一夹具夹持在竖轴上，第一夹具在松弛状态下，喷头能够随第一夹具沿竖轴上 下滑动，并且能绕着竖轴在水平面转动，第一夹具在夹紧状态下，喷头的高度以及 在水平面内的角度也被固定；另外，喷头还可以绕着水平轴在竖直面内转动，以调 节在竖直面内的角度。由此，实现了喷头在多个维度的自由调节。

附图说明

图1是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的立体图；

图2是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的正视图；

图3是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的右视图；

图4是根据本发明实施例的可自由调节的固定喷头的俯视图。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发 明的保护范围。

参考图1至图4，本实施例的可自由调节的固定喷头包括：竖轴11、第一 夹具12、喷头13、第二夹具14、固定盘15、漏液盘17以及接头18。

其中，竖轴11沿竖直方向设置。第一夹具12夹持在竖轴11上，第一夹 具12可以通过螺栓等方式调节为松弛状态或是夹紧状态，在松弛状态下，第 一夹具能够沿竖轴11上下滑动并且能绕竖轴11在水平面转动；在夹紧状态下， 第一夹具12固定在竖轴11上。

喷头13通过水平轴(图中未示出)与第一夹具12形成可转动连接，该水 平轴水平设置，喷头13能够绕水平轴在竖直面内转动。

进一步而言，喷头13固定夹持在第二夹具14上，第二夹具14能够绕水 平轴旋转。第二夹具14绕水平轴旋转时，将带动喷头13一同在竖直面内旋转。 水平轴的位置相对于第一夹具12固定，因此，通过第一夹具12的夹紧状态和 松弛状态的变换，能够同时调节第一夹具12、水平轴、第二夹具14以及喷头 13的竖直高度以及在水平面内的旋转角度。