[发明专利]可自由调节的固定喷头及半导体清洗设备

权利要求书

1.一种可自由调节的固定喷头，其特征在于，包括：

竖直设置的竖轴；

夹持在所述竖轴上的第一夹具，该第一夹具在松弛状态下能沿所述竖轴上下 滑动并能绕所述竖轴在水平面转动，该第一夹具在夹紧状态下固定在所述竖轴上；

喷头，通过水平轴与所述第一夹具形成可转动连接，所述水平轴水平设置， 所述喷头能绕所述水平轴在竖直面转动。

2.根据权利要求1所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括：

绕所述水平轴旋转的第二夹具，所述喷头固定夹持在所述第二夹具上。

3.根据权利要求2所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括：

与所述第二夹具相固定的固定盘，该固定盘随所述第二夹具绕所述水平轴旋 转，所述固定盘上具有弧形限位槽，所述弧形限位槽的圆心位于所述水平轴上；

螺接在所述第一夹具上的螺丝，所述螺丝位于所述限位槽内，所述螺丝处于 松弛状态时，所述第二夹具和固定盘能绕所述水平轴旋转并由所述螺丝和限位槽限 位，所述螺丝处于旋紧状态时，所述固定盘和第二夹具相对于所述第一夹具固定。

4.根据权利要求3所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，所述弧形限 位槽的圆心角小于180度。

5.根据权利要求3所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，所述喷头的 数量为2个，且每一喷头具有独立的第一夹具和第二夹具。

6.根据权利要求1所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括：

绕所述竖轴旋转的漏液盘，所述漏液盘位于所述喷头的喷嘴下方。

7.根据权利要求1所述的可自由调节的固定喷头，其特征在于，还包括：

与所述喷头的进液口相连的接头。

8.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括权利要求1至7中任一项所述的 可自由调节的固定喷头。