[发明专利]LPCVD炉管及其主阀联锁装置电路

权利要求书

1.一种LPCVD炉管的主阀联锁装置电路(100)，其输入端连接到一真空检 测仪，其输出端对应到所述LPCVD炉管的工艺终止部件；所述主阀联锁装置电路 (100)采用双电源输入，即连接到一正电源端(C)和一负电源端(D)；所述主 阀联锁装置电路(100)包括：

第一电阻(121)，其一端连接所述真空检测仪，接收一真空检测信号；

第二电阻(122)和电位器(143)，两者串联后连接于所述正电源端(C)和 地端之间，用于从中提供所述LPCVD炉管的预真空的一设定数值所对应的下述比 较器(101)的动作电压；

比较器(101)，其正输入端连接于所述第二电阻(122)和所述电位器(143) 之间，其负输入端与所述第一电阻(121)的另一端连接；所述比较器(101)还分 别与所述正电源端(C)和所述负电源端(D)连接；

第三电阻(123)，其一端与所述比较器(101)的输出端连接；

三极管(103)，其基极与所述第三电阻(123)的另一端连接，其发射极接 地；

继电器(105)，其一端与所述三极管(103)的集电极连接，其另一端与所 述正电源端(C)连接；

第四电阻(124)，其一端与所述三极管(103)的集电极连接；以及

状态显示元件(107)，其一端与所述第四电阻(124)的另一端连接，其另 一端与所述正电源端(C)连接。

2.根据权利要求1所述的主阀联锁装置电路(100)，其特征在于，所述主阀 联锁装置电路(100)还包括一带载能力增强电路(102)；所述带载能力增强电路 (102)连接于所述比较器(101)的输出端和所述第三电阻(123)之间，包括：

射极跟随器(111)，其基极与所述比较器(101)的输出端连接，其发射极 与所述第三电阻(123)的一端连接；以及

第五电阻(125)，连接于所述射极跟随器(111)的集电极和发射极之间。

3.根据权利要求2所述的主阀联锁装置电路(100)，其特征在于，

所述主阀联锁装置电路(100)还包括：

第一续流二极管(126)，其正极与所述三极管(103)的集电极连接，其负 极与所述正电源端(C)连接；和/或

所述带载能力增强电路(102)还包括：

第二续流二极管(127)，其正极与所述射极跟随器(111)的发射极连接， 其负极与所述射极跟随器(111)的续流端连接。

4.根据权利要求3所述的主阀联锁装置电路(100)，其特征在于，所述主阀 联锁装置电路(100)还包括一电源稳定电路(104)；所述电源稳定电路(104) 采用双电源输入和输出，包括：

三端正稳压器(131)和三端负稳压器(132)，其各自的输入端和输出端分 别连接于双电源输入端和双电源输出端之间，其各自的接地端接地；

第一电解电容(133)和第二电解电容(134)，其各自的一端与分别与所述 双电源输入端的正输入端和负输入端连接，其各自的另一端接地；

第一普通电容(135)和第二普通电容(136)，其各自的一端与分别与所述 双电源输入端的正输入端和负输入端连接，其各自的另一端接地；以及

第三电解电容(137)和第四电解电容(138)，其各自的一端与分别与所述 双电源输出端的正输出端和负输出端连接，其各自的另一端接地；所述双电源输出 端的正输出端和负输出端与所述正电源端(C)和所述负电源端(D)相对应。