[发明专利]检测装置、光刻装置以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种检测装置，检测设置于基板的多个标记，其特征在于，该检测装置包括：

第1观测仪器，向所述多个标记中的第1标记照射第1光，通过由所述第1标记反射的光检测所述第1标记；

第2观测仪器，向所述多个标记中的与所述第1标记不同的第2标记照射第2光，通过由所述第2标记反射的光检测所述第2标记；以及

光学部件，具有透过所述第1光而使所述第1光入射到所述基板的透过部分和反射所述第2光而使所述第2光入射到所述基板的面，

通过改变入射到所述光学部件的所述第1光的入射位置和由所述光学部件的所述面反射的所述第2光的反射位置的相对位置，所述第1光照射的所述基板上的照射位置与所述第2光照射的所述基板上的照射位置之间的距离发生变化。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述光学部件构成为使得透过了所述透过部分之后的朝向所述基板的所述第1光的主光线和由所述面反射之后的朝向所述基板的所述第2光的主光线平行。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述光学部件构成为使得透过了所述光学部件之后的朝向所述基板的所述第1光的主光线和由所述面反射之后的朝向所述基板的所述第2光的主光线相对所述基板的表面分别垂直。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述光学部件中的所述面构成为使得从所述第1观测仪器射出的所述第1光透过、并且反射从所述第2观测仪器射出的所述第2光。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，

所述第1光以及所述第2光具有相互不同的偏振特性，

在所述光学部件中的所述面设置有根据光的偏振特性使光反射或者透过的偏振分束膜，

所述偏振分束膜透过所述第1光且反射所述第2光。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述第1光是第1波长频带的光，所述第2光是与所述第1波长频带不同的波长频带的光，

在所述光学部件中的所述面设置有根据波长频带使光反射或者透过的二向色膜，

所述二向色膜透过所述第1光且反射所述第2光。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

在所述光学部件中的所述面，设置有对从所述第2观测仪器射出的所述第2光进行反射的反射膜。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述第1观测仪器以使透过了所述透过部分的光的焦点的高度不发生变化的方式针对所述光学部件相对地移动。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述第1观测仪器被配置成其光轴与所述基板的表面垂直，

所述第2观测仪器被配置成所述第1观测仪器的光轴与所述第2观测仪器的光轴之间的角度小于90度。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

在所述光学部件中的所述面接合有棱镜。

11.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

通过在所述第1标记和所述第2标记排列的方向上改变入射到所述光学部件的所述第1光的入射位置和由所述光学部件的所述面反射的所述第2光的反射位置的相对位置，所述第1光照射的所述基板上的照射位置与所述第2光照射的所述基板上的照射位置之间的距离发生变化。

12.根据权利要求11所述的检测装置，其特征在于，

通过将所述第1观测仪器在所述方向上移动，改变入射到所述光学部件的所述第1光的入射位置和由所述光学部件的所述面反射的所述第2光的反射位置在所述方向上的相对位置。

13.根据权利要求11所述的检测装置，其特征在于，

通过将所述光学部件在所述方向上移动，改变入射到所述光学部件的所述第1光的入射位置和由所述光学部件的所述面反射的所述第2光的反射位置在所述方向上的相对位置。

14.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述面相对于所述基板倾斜地配置，

所述光学部件具有所述第1光入射的第2面，所述第2面与所述基板的表面平行地配置。