[发明专利]用于制造液晶显示器的方法

说明书

技术领域

本申请涉及一种面内开关型液晶显示器，更具体地，涉及一种用于制造液晶显示器的方法，该方法能够通过减少掩模的数目来缩短节拍时间(tact time)并提高生产率。

背景技术

液晶显示器通常是使用液晶的光学各向异性和偏振特性来驱动的。由于液晶具有细长的形状，因此液晶分子具有对准的取向。液晶分子的对准的取向可以通过施加电场至液晶来进行控制。因此，当对液晶分子的对准的取向进行调节时，液晶分子的对准可以被改变。光在液晶分子的对准的取向上依据光学各向异性而被折射，从而显示出图像信息。

有源矩阵液晶显示器(AMLCD)(以下简称为“液晶显示器”)因其优异的分辨率和运动图像显示性能，目前已经备受关注，在有源矩阵液晶显示器中，薄膜晶体管和连接到所述薄膜晶体管的像素电极被布置成矩阵形式。液晶显示器包括：公共电极形成在其上的滤色片衬底、像素电极形成在其上的阵列衬底、以及置于该滤色片衬底和该阵列衬底之间的液晶。在液晶显示器中，公共电极和像素电极通过垂直施加的电场来驱动液晶，从而提供优异的透射率、优异的孔径比等等。然而，通过垂直施加的电场来驱动液晶的缺点在于，液晶不能提供良好的视角特性。因此，为了克服该缺点，提出了具有优异的视角特性的面内开关型液晶显示器。

图1A到图1F是示出了用于制造面内开关型液晶显示器的常规方法的各工序的剖面图。

参见图1A，栅极焊盘电极16和栅极18通过层压衬底10上的透明导电层12和金属层14并且使用第一掩模图案化透明导电层12和金属层14而形成。接下来，参见图1B，有源层21、源极29、漏极28、数据焊盘电极25和数据线27通过在衬底10上层压栅绝缘膜20然后层压有源层22和金属层24，并且使用第二掩模图案化有源层22和金属层24而形成。接下来，参见图1C，暴露漏极28的第一接触孔CH1通过在衬底10上层压第一钝化膜30，并且使用第三掩模图案化第一钝化膜30而形成，并且然后，具有暴露漏极28的第一接触孔CH1的有机绝缘膜35通过施加有机膜并且使用第四掩模图案化该有机膜而形成。

接下来，参见图1D，公共电极45通过在有机绝缘膜35上层压透明导电材料，并且使用第五掩模图案化该透明导电材料而形成。接下来，参见图1E，暴露第二接触孔CH2的第三接触孔CH3、暴露栅极焊盘电极16的第四接触孔CH4、以及暴露数据焊盘电极27的第五接触孔CH5，通过在衬底10上形成第二钝化膜50并且使用第六掩模图案化第二钝化膜50而形成。最后，连接到漏极28的像素电极60通过在衬底10上层压透明导电材料，并且使用第七掩模图案化该透明导电材料而形成，从而制造液晶显示器。

总共使用七个掩模，用于制造液晶显示器的上述常规方法因制造成本高和节拍时间长而具有生产率低的问题。

发明内容

本申请的一方面是提供一种用于制造液晶显示器的方法，该方法能够通过减少掩模的数目来缩短节拍时间并提高生产率。

在一方面，存在一种用于制造液晶显示器的方法，该方法包括如下步骤：使用第一掩模在衬底上形成栅极；在所述栅极上形成栅绝缘膜；使用第二掩模在所述栅绝缘膜上形成有源层、源极和漏极；在所述有源层、所述源极和所述漏极上形成第一钝化膜；在所述第一钝化膜上顺序地层压有机膜和透明电极层，并且使用第三掩模形成有机绝缘膜和公共电极；在所述有机绝缘膜和所述公共电极上形成第二钝化膜，并且使用第四掩模暴露所述漏极；以及使用第五掩模在所述第二钝化膜上形成像素电极，以使所述像素电极连接到所述漏极。

本申请要求2013年9月30日提交的韩国专利申请No.10-2013-0116006的优先权，该韩国专利申请通过引用的方式出于所有目的被并入到本文中，犹如完全地在本文中阐述一样。

附图说明

附图被包括进来以提供对本发明的进一步理解，并且附图被并入并构成本说明书的一部分，附图图示了本发明的实施方式，并且与本说明书一起用来解释本发明的原理。在附图中：

图1A到图1F是示出了用于制造面内开关型液晶显示器的常规方法的各工序的剖面图；

图2是示出了根据本发明的一种示例性实施方式的面内开关型液晶显示器的俯视图；

图3是示出了根据本发明的一种示例性实施方式的面内开关型液晶显示器的剖视图；

图4A到图4G是示出了根据本发明的用于制造面内开关型液晶显示器的方法的各工序的视图；

图5A和图5B是示出了根据本发明的比较示例所制造出的液晶显示器的第一接触孔部分和第二接触孔部分的SEM图像；以及