[发明专利]检测装置和检测方法有效
申请号: | 201410490339.4 | 申请日: | 2014-09-23 |
公开(公告)号: | CN104297423A | 公开(公告)日: | 2015-01-21 |
发明(设计)人: | 安午伟;马亮 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种检测装置和检测方法。
背景技术
显示面板包括阵列基板以及与阵列基板相对设置的对盒基板,其中,阵列基板和对盒基板均是需要通过一系列的生产工艺才制备出来的。
制备阵列基板或对盒基板用的玻璃基板,在制备阵列基板或对盒基板过程中会在不同的工艺设备之间进行传输,在传输过程中玻璃基板会与传送设备发生频繁的接触和碰撞,从而很有可能使得玻璃基板产生破损,进而导致制备出的阵列基板或对盒基板无法使用。更严重的是,出现破损的玻璃基板在进行加工时,玻璃基板上残留的玻璃碎屑会使得工艺设备发生堵塞、划伤损坏,从而造成严重的经济损失。
因此,如何能够及时有效的检测出玻璃基板上是否存在损坏,对于显示面板制造行业尤为重要。
发明内容
本发明提供一种检测装置和检测方法,可以对基板是否存在破损进行有效的判断。
为实现上述目的,本发明提供了一种检测装置,用于对基板破损进行检测,包括:
密封腔体,所述密封腔体内水平放置有待检测的所述基板;
气流输出单元,所述气流输出单元与所述密封腔体连接,所述气流输出单元用于向所述基板的上表面输出检测气流;
气流检测单元,所述气流检测单元位于所述基板的下方,所述气流检测单元用于检测所述基板的下表面是否存在所述检测气流;
若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面存在所述检测气流时,则判断出所述基板存在破损;若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面不存在所述检测气流时,则判断出所述基板不存在破损。
可选地,还包括:运载单元,所述运载单元位于所述气流检测单元和所述基板之间;
所述运载单元用于支撑所述基板以及带动所述基板在所述密封腔体内移动。
可选地,所述运载单元包括:平行设置的若干条滚轴,所述滚轴设置在所述基板的下方,所述滚轴包括:若干个传送滚轮和连接杆,所述连接杆与所述滚轴中的全部所述传送滚轮连接;
所述连接杆用于控制所述滚轴中的全部所述传送滚轮同步运动;
所述滚轮用于带动所述基板以预定速度进行运动。
可选地,所述运载单元还包括:导向轮,所述导向轮位于所述连接杆的两端;
所述导向轮用于在所述滚轮带动所述基板进行运动时控制所述基板的沿垂直于所述连接杆的方向进行水平运动。
可选地,所述气流输出单元包括:进气模块和若干条输气支路,所述进气模块设置在所述密封腔体上,所述输气支路设置在所述密封腔体内,所述输气支路包括:输送软管和喷嘴,所述输送软管的一端与所述进气模块连接,所述输送软管的另一端与所述喷嘴连接;
所述进气模块用于将检测气体通过所述输气支路输出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述检测气流。
可选地,所述进气模块包括:进气管路、过滤器和缓冲密闭箱,所述过滤器设置在所述进气管路和所述缓冲密闭箱之间,所述缓冲密闭箱与所述输送软管连接;
所述进气管路用于将所述检测气体运输至所述缓冲密闭箱内;
所述过滤器用于将对所述检测气体中杂质进行过滤;
所述缓冲密闭箱用于存储所述检测气体以及将所述检测气体输送至输送软管。
可选地,全部所述喷嘴处于同一水平面且排列成一行。
可选地,所述气流输出单元还包括:第一固定板,全部所述喷嘴固定在所述第一固定板上。
可选地,所述气流检测单元包括:若干个气流检测子单元,所述气流检测子单元用于检测所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域是否存在检测气流;
若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在所述检测气流时,则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在破损;若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在所述检测气流时,则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在破损。
可选地,全部所述气流检测子单元在处于同一水平面且排列成一行。
可选地,所述气流检测单元还包括:第二固定板,全部所述气流检测子单元固定在所述第二固定板上。
可选地,所述气流检测子单元为气流传感器,所述气流传感器用于在检测到检测气流时产生模拟信号;
所述检测装置还包括:信号转换器和报警器,所述信号转换器与气流传感器和所述报警器连接;
所述信号转换器用于将所述模拟信号转换成电信号;
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