[发明专利]检测装置和检测方法

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，用于对基板破损进行检测，包括：

密封腔体，所述密封腔体内水平放置有待检测的所述基板；

气流输出单元，所述气流输出单元与所述密封腔体连接，所述气流输出单元用于向所述基板的上表面输出检测气流；

气流检测单元，所述气流检测单元位于所述基板的下方，所述气流检测单元用于检测所述基板的下表面是否存在所述检测气流；

若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面存在所述检测气流时，则判断出所述基板存在破损；若所述气流检测单元检测到所述基板的下表面不存在所述检测气流时，则判断出所述基板不存在破损。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：运载单元，所述运载单元位于所述气流检测单元和所述基板之间；

所述运载单元用于支撑所述基板以及带动所述基板在所述密封腔体内移动。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述运载单元包括：平行设置的若干条滚轴，所述滚轴设置在所述基板的下方，所述滚轴包括：若干个传送滚轮和连接杆，所述连接杆与所述滚轴中的全部所述传送滚轮连接；

所述连接杆用于控制所述滚轴中的全部所述传送滚轮同步运动；

所述滚轮用于带动所述基板以预定速度进行运动。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述运载单元还包括：导向轮，所述导向轮位于所述连接杆的两端；

所述导向轮用于在所述滚轮带动所述基板进行运动时控制所述基板的沿垂直于所述连接杆的方向进行水平运动。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述气流输出单元包括：进气模块和若干条输气支路，所述进气模块设置在所述密封腔体上，所述输气支路设置在所述密封腔体内，所述输气支路包括：输送软管和喷嘴，所述输送软管的一端与所述进气模块连接，所述输送软管的另一端与所述喷嘴连接；

所述进气模块用于将检测气体通过所述输气支路输出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述检测气流。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述进气模块包括：进气管路、过滤器和缓冲密闭箱，所述过滤器设置在所述进气管路和所述缓冲密闭箱之间，所述缓冲密闭箱与所述输送软管连接；

所述进气管路用于将所述检测气体运输至所述缓冲密闭箱内；

所述过滤器用于将对所述检测气体中杂质进行过滤；

所述缓冲密闭箱用于存储所述检测气体以及将所述检测气体输送至输送软管。

7.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，全部所述喷嘴处于同一水平面且排列成一行。

8.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述气流输出单元还包括：第一固定板，全部所述喷嘴固定在所述第一固定板上。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述气流检测单元包括：若干个气流检测子单元，所述气流检测子单元用于检测所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域是否存在检测气流；

若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在所述检测气流时，则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域存在破损；若所述气流检测子单元检测到所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在所述检测气流时，则判断出所述基板上对应所述气流检测子单元的正上方的区域不存在破损。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，全部所述气流检测子单元处于同一水平面且排列成一行。

11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述气流检测单元还包括：第二固定板，全部所述气流检测子单元固定在所述第二固定板上。

12.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述气流检测子单元为气流传感器，所述气流传感器用于在检测到检测气流时产生模拟信号；

所述检测装置还包括：信号转换器和报警器，所述信号转换器与气流传感器和所述报警器连接；

所述信号转换器用于将所述模拟信号转换成电信号；

所述报警器用于在接收所述电信号时进行报警。