[发明专利]致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备

说明书

本发明提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备：各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15)，电压控制部(15)具备：数字控制器(17)，其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2)；第一DAC(181)，其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1)；以及第二DAC(182)，其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。

技术领域

本发明涉及致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。

背景技术

现有技术中，已知一种具备彼此相对的一对基板、分别配置于各基板并彼此相对的反射膜、以及分别配置于各基板并彼此相对的电极(致动器)的波长选择受光元件(波长可变干涉滤波器)(例如，专利文献1)。

在具备专利文献1中所述的波长可变干涉滤波器和将驱动电压施加于上述相对的电极间的电压控制部的光学模块中，由于对应施加于致动器的驱动电压而在电极间产生的静电引力，基板间距离发生变化，设于反射膜间的间隙的尺寸被变更，选择性地取出对应于该间隙尺寸的波长的光。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平2-257676号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

可是，在专利文献1中所述的波长可变干涉滤波器中，为了高精度地设定对应于目标波长的光的间隙尺寸，就必须细微地调整施加于致动器的驱动电压。

作为调整这样的致动器的驱动电压的电压控制部，例如，存在以下这样的电压控制部：其将从微型计算机等数字控制器输出的数字信号输入驱动电压信号发生器(例如数字-模拟转换器(DAC：Digital to Analog Co nverter)、电压控制脉冲宽度调制器(PWM：Pulse Width Modulator)等)，并将输出的驱动电压信号(驱动电压)施加于致动器。

数字信号的比特数越多(例如16比特等)，上述电压控制部就越能细微地调整驱动电压，进而越能细微地变更致动器的驱动量。因此，例如，在波长可变干涉滤波器中，能够对应取出的光的目标波长高精度地控制间隙尺寸。

然而，驱动电压信号发生器越能处理比特数多的数字信号，价格就越昂贵。因此，具有电压控制部的制造成本增大这样的技术问题。

本发明的目的在于，提供能够高精度地控制驱动电压并能抑制制造成本增加的致动器的驱动系统、光学模块及电子设备。

用于解决技术问题的方案

本发明的致动器的驱动系统其特征在于，具备：多个致动器，以与驱动电压相应的驱动量进行驱动；以及电压控制部，将所述驱动电压施加于所述多个致动器中的各个致动器，所述电压控制部具备：变量分割单元，将对应于所述多个致动器的总驱动量的多位的驱动用变量分割为单独驱动用变量，所述单独驱动用变量具有至少1位以上并与所述多个致动器各自对应；以及信号产生单元，与所述多个致动器各自对应地设置，并基于所述单独驱动用变量产生与所述驱动电压相应的驱动电压信号。

在此，驱动用变量对应于多个致动器的总驱动量意味着其对应于驱动电压施加于所有致动器时的驱动量的总和。

另外，由变量分割单元分割的单独驱动用变量既可以是相同的位数，也可以是各自不同的位数。例如，8比特的驱动用变量既可以分割为高4比特的第一单独驱动用变量和低4比特的第二单独驱动用变量，也可以分割为高3比特的第一单独驱动用变量和低5比特的第二单独驱动用变量。