[发明专利]致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备

权利要求书

1.一种致动器的驱动系统，其特征在于，具备：

多个致动器，以与驱动电压相应的驱动量进行驱动；以及

电压控制部，将所述驱动电压施加于所述多个致动器中的各个致动器，

所述电压控制部具备：

变量分割单元，将对应于所述多个致动器的总驱动量的多位的驱动用变量分割为单独驱动用变量，所述单独驱动用变量具有至少1位以上并与所述多个致动器各自对应；以及

信号产生单元，与所述多个致动器各自对应地设置，并基于所述单独驱动用变量产生与所述驱动电压相应的驱动电压信号，

所述多个致动器相对于所述驱动电压的所述驱动量各不相同，

所述电压控制部对所述多个致动器提供对应于所述单独驱动用变量的但具有相同值的所述驱动电压，

在所述多个致动器中，在相对于所述驱动电压的所述驱动量最接近的两个致动器中的一个所述致动器中使对应的所述单独驱动用变量变化1级时的所述驱动量为另一个所述致动器中变化所述1级时的所述驱动量与施加最大驱动电压时的所述驱动量之和。

2.根据权利要求1所述的致动器的驱动系统，其特征在于，

多个所述单独驱动用变量是通过从所述驱动用变量的高位向低位依次分割所述驱动用变量而获得的，

在所述多个致动器中，相对于所述驱动电压的所述驱动量越小的所述致动器与包括所述驱动用变量的更低的位的所述单独驱动用变量对应。

3.根据权利要求1所述的致动器的驱动系统，其特征在于，

所述致动器是具备相对设置的一对驱动电极的静电致动器，

在所述多个致动器中，所述一对驱动电极的相对区域的面积各不相同。

4.根据权利要求1所述的致动器的驱动系统，其特征在于，

所述信号产生单元是数字-模拟转换器。

5.根据权利要求1所述的致动器的驱动系统，其特征在于，

所述信号产生单元是对固定电压实施脉宽调制处理而产生所述驱动电压信号的脉宽调制器。

6.根据权利要求1所述的致动器的驱动系统，其特征在于，还具备：

检测所述总驱动量的驱动量检测部，

所述电压控制部基于所述驱动量检测部对所述总驱动量的检测结果，控制所述驱动电压。

7.根据权利要求6所述的致动器的驱动系统，其特征在于，

所述驱动量检测部具备彼此相对的一对电容检测电极，并检测所述电容检测电极间的静电电容。

8.一种光学模块，其特征在于，具备：

彼此相对的一对反射膜；

多个致动器，以与驱动电压相应的驱动量进行驱动，以变更所述一对反射膜间的间隙的尺寸；以及

电压控制部，将所述驱动电压施加于所述多个致动器中的各个致动器，

所述电压控制部具备：

变量分割单元，将对应于所述多个致动器的总驱动量的多位的驱动用变量分割为单独驱动用变量，所述单独驱动用变量具有至少1位以上并与所述多个致动器各自对应；以及

信号产生单元，与所述多个致动器各自对应地设置，并基于所述单独驱动用变量产生与所述驱动电压相应的驱动电压信号，

所述多个致动器相对于所述驱动电压的所述驱动量各不相同，

并且其中，所述电压控制部对所述多个致动器提供对应于所述单独驱动用变量的但具有相同值的所述驱动电压，

在所述多个致动器中，在相对于所述驱动电压的所述驱动量最接近的两个致动器中的一个所述致动器中使对应的所述单独驱动用变量变化1级时的所述驱动量为另一个所述致动器中变化所述1级时的所述驱动量与施加最大驱动电压时的所述驱动量之和。

9.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求8所述的光学模块。