[发明专利]一种MEMS武器安保装置

权利要求书

1.一种MEMS武器安保装置，包括单晶硅衬底(1)，其特征在于：在单晶硅衬底(1)依次制作二氧化硅绝缘层(2)以及单晶硅结构层(3)，单晶硅衬底(1)的厚度为400～500um，其中制作有直径为300～400um的圆形加速膛孔(5)，二氧化硅绝缘层(2)的厚度为2～3um，单晶硅结构层(3)的厚度为50～100um；

在单晶硅结构层(3)中制作卡销机构(Ⅰ)、棘爪机构(Ⅱ)以及隔断机构(Ⅲ)，其中卡销机构(Ⅰ)中的可动卡销(10)、棘爪机构(Ⅱ)中的棘爪(20)以及隔断(Ⅲ)中的防爆隔板(30)通过齿状结构相啮合，防爆隔板(30)将加速膛膛孔(5)遮挡，并通过S型硅弹簧(29)与单晶硅结构层(3)连接，飞片孔(4)与加速膛膛孔(5)错位放置。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS武器安保装置，其特征在于：在卡销机构(Ⅰ)中，第一电极(13a)、第二电极(13b)分别制作在第一电极锚点(6a)与第二电极锚点(6b)上，第一V型热电执行器(7)的两端与第一电极锚点(6a)、第二电极锚点(6b)相连，第一V型热电执行器(7)的中点通过第一柔性弯曲梁(11b)与第一放大杠杆(8)相连，第一放大杠杆(8)的两端通过第二柔性弯曲梁(11a)和第一柔性拉伸梁(9)分别与第一固定锚点(12)以及可动卡销(10)相连，可动卡销(10)带有齿状结构；

所述的卡销机构(Ⅰ)通过第一电极锚点(6a)、第二电极锚点(6b)以及第一固定锚点(12)与二氧化硅绝缘层(2)相连，其余部分均为悬空可动结构。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS武器安保装置，其特征在于：在棘爪机构(Ⅱ)中，第三电极(14a)、第四电极(14b)、第五电极(24a)、第六电极(24b)分别制作在第三电极锚点(15a)、第四电极锚点(15b)、第五电极锚点(23a)、第六电极锚点(23b)上，第二V型热电执行器(28)的两端分别与第三电极锚点(15a)、第四电极锚点(15b)相连，第三V型热电执行器(25)的两端分别与第五电极锚点(23a)、第六电极锚点(23b)相连，通过第三柔性弯曲梁(17b)与第五柔性弯曲梁(27b)，将第二V型热电执行器(28)以及第三V型热电执行器(25)分别与第二放大杠杆(18)以及第三放大杠杆(22)相连，第二放大杠杆(18)的两端通过第四柔性弯曲梁(17a)和第二柔性拉伸梁(19)分别与第二固定锚点(16)以及棘爪(20)的底边相连，第三放大杠杆(22)的两端通过第六柔性弯曲梁(27a)和第三柔性拉伸梁(21)分别与第三固定锚点(26)以及棘爪(20)的侧边相连，棘爪(20)带有齿状结构；

所述的棘爪机构(Ⅱ)通过第三电极锚点(15a)、第四电极锚点(15b)、第五电极锚点(23a)、第六电极锚点(23b)以及第二固定锚点(16)、第三固定锚点(26)与二氧化硅绝缘层(2)相连，其余部分均为悬空可动结构。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS武器安保装置，其特征在于：在隔断机构(Ⅲ)中，S型硅弹簧(29)的两端分别与单晶硅结构层(3)以及防爆隔板(30)相连，防爆隔板(30)将单晶硅衬底(1)中的加速膛膛孔(5)挡住，飞片孔(4)置于防爆隔板(30)的左端，方形刻蚀孔(31)制作成阵列形式并置于防爆隔板(30)的右端，驱动齿(32)对称置于防爆隔板(30)的两侧，并与可动卡销(10)以及棘爪(20)相啮合；

所述的隔断机构(Ⅲ)的一端通过单晶硅结构层(3)与二氧化硅绝缘层(2)相连，其余部分均为悬空可动结构。