[发明专利]一种Ni‑P基板的封装方法有效
申请号: | 201410474489.6 | 申请日: | 2014-09-17 |
公开(公告)号: | CN104282582B | 公开(公告)日: | 2017-02-01 |
发明(设计)人: | 马运柱;刘文胜;王依锴;黄宇峰 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所43114 | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ni 封装 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种Ni-P基板的封装方法;特别涉及一种抑制Ni-P层消耗及界面层金属间化合物生长并采用含锡焊料封装Ni-P基板的方法;属于电子封装技术领域。
背景技术
P质量百分数为6-9%的非晶态化学镀Ni-P层与绝大多数基板(铜板、硅板等)具有较好的粘结性,能够有效地阻止锡基焊料中的Sn与基板的反应。与一般金属及合金镀层相比,非晶态Ni-P合金具有优异的机械性能及物理和化学特性,例如较高的硬度、良好的耐磨性和耐蚀性;另外,其具有良好的可焊接性,厚度均一可控性,表面光亮美观,因此,非晶态Ni-P化学镀层作为一种扩散阻挡层在flip-chip和BGA焊点等封装领域,尤其是航空航天关键电子元件与大功率计算机CPU封装中得到了广泛应用。但在封装焊接过程中,Ni原子从Ni-P层向焊接界面扩散,与Sn原子结合生成Ni3Sn4金属间化合物。同时,Ni原子向焊料中扩散也引起了Ni-P层的晶化,在Ni3Sn4与Ni-P层之间产生一层脆性的富P相(即Ni3P)严重影响焊点的力学性能。在焊点服役过程中,器件之间的热差异引起焊点内部的热迁移效应。热迁移作用使得Ni原子继续向焊接界面扩散,导致Ni3P层长大,最终Sn与Ni3P结合形成Ni-Sn-P金属间化合物,造成焊接界面的剥离。另外,Ni的消耗导致Ni-P层体积收缩,引起Ni3P中形成柱状孔洞,加速了基底Cu原子通过Ni-P层向界面的扩散速率,引起Ni-P/Cu界面的分离,严重影响焊点的电学性能、力学可靠性,最终导致BGA焊点失效,造成关键信息装置和电子器件的失效,引发通讯甚至航空事故。因此,迫切需要一种高效,廉价的Ni-P印刷基板焊接技术以抑制Ni-P层中Ni扩散和界面金属间化合物的生长,提高焊点可靠性和电子装置的寿命,推动新一轮封装技术革命。
据科技查新和专利检索结果,目前还没有抑制Sn-3.5Ag/Ni-P焊接界面Ni扩散的专利公布。近期科研文献主要集中在如何抑制Sn-Ag-Cu系焊料/Ni-P界面的反应。例如,Tseng等(Tseng C F,Lee T K,Ramakrishna G,et al.Suppressing Ni3Sn4formation in the Sn-Ag-Cu solder joints with Ni-P/Pd/Au surface finish[J].Materials Letters,2011,65(21):3216-3218.)提出在Ni-P板表面化学镀一层50 nm厚的Pd层,使用Sn-3.0Ag-0.5Cu焊接Ni-P/Pd/Au镀层发现界面形成了Cu6Sn5型的(Cu,Ni,Pd)6Sn5,此金属间化合物稳定性好,不易长大,且不会转变为Ni3Sn4型金属间化合物,有效地阻止了Ni-P中Ni的扩散,从而大大降低Ni3Sn4和Ni3P中柱状柯肯达尔空洞的生长速率。但Pd属于稀贵金属,增加了电路板制造成本。Wang等(Wang S J,Liu C Y.Retarding growth of Ni3 P crystalline layer in Ni(P)substrate by reacting with Cu-bearing Sn(Cu)solders[J].Scripta materialia,2003,49(9):813-818.)提出在Sn中添加Cu元素,在焊接过程中界面形成一层Cu6Sn5从而减缓Ni的扩散速率。但Cu元素的加入会改变焊料体系的焊接特性,不能进行广泛的推广使用。在Sn-3.5Ag焊料中不存在Cu,反应界面不存在Cu6Sn5,因此上述两种方法不适于Sn-3.5Ag/Ni-P体系的焊接。Kang等(Kang H B,Bae J H,Lee J W,et al.Control of interfacial reaction layers formed in Sn-3.5 Ag-0.7 Cu/electroless Ni-P solder joints[J].Scripta Materialia,2009,60(4):257-260.)提出在焊接前对Ni-P基板进行真空热处理,在Ni-P层中成弥散分布的纳米Ni颗粒,从而诱导非晶态Ni原子向周围纳米Ni颗粒的团聚,抑制了非晶态Ni向界面的扩散。但真空热处理对设备要求较高,处理时间较长,对基板树脂的损害较大,应用受到限制。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造