[发明专利]用于静电防护的半导体结构在审
申请号: | 201410469877.5 | 申请日: | 2014-09-15 |
公开(公告)号: | CN105489641A | 公开(公告)日: | 2016-04-13 |
发明(设计)人: | 柯钧钟;吴志伦;林硕彦 | 申请(专利权)人: | 台湾类比科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/41 | 分类号: | H01L29/41;H01L29/06;H01L23/60 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 静电 防护 半导体 结构 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于静电防护的半导体结构,特别是涉及一种可节 省集成电路空间并改善静电防护能力的半导体结构。
背景技术
静电防护长久以来都是电子产业与半导体产业重要的课题之一。静 电放电常会造成电子产品损坏。随着半导体工艺的进步,集成电路及其 元件的尺寸越来越小,相对地集成电路也越容易受到静电的破坏。为了 防止集成电路受到静电的破坏,现有技术的集成电路包含静电防护电 路,用以当接收到静电时将静电迅速导引至接地端。然而,在现有技术 的集成电路中,静电防护电路会占据集成电路一定的空间,进而增加集 成电路设计上的困难,再者,为了节省空间,静电防护电路会设置在集 成电路中的特定位置上,而集成电路离静电防护电路较远的元件将无法 有效地受到静电防护电路的保护。
发明内容
本发明提供一种可节省集成电路空间并改善静电防护能力的半导 体结构,以解决上述问题。
本发明用于静电防护的半导体结构设置于集成电路上,该集成电路 包含设置于该集成电路的外围的封环(sealring),金属环设置于该封环的 内侧,以及电源汇流排设置于该金属环的一侧,该半导体结构包含第一 N型电极区,第二N型电极区,以及第一P型电极区。该第一N型电 极区形成于P型井上相对应于该封环的位置,且耦接至该封环。该第二 N型电极区形成于该P型井上相对应于该电源汇流排的位置,且耦接至 该电源汇流排。该第一P型电极区形成于相对应于该金属环的位置,且 耦接至该金属环。其中该封环及该电源汇流排耦接至电压源,该金属环 系耦接至接地端。
本发明的有益效果是:相比较于先前技术,本发明用于静电防护的 半导体结构设置于集成电路外围的封环、金属环及电源汇流排的相对应 位置,而不需另外占据集成电路的空间,进而节省集成电路的空间。再 者,由于本发明用于静电防护的半导体结构系环绕于集成电路的外围, 因此集成电路的各个元件可受到附近的半导体结构的静电保护,进而改 善集成电路的静电防护能力。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描 述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图 仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出 创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。其中:
图1是本发明集成电路配置的示意图;
图2是本发明用于静电防护的半导体结构对应于图1的A-A剖面线 的剖面图;
图3是本发明用于静电防护的半导体结构对应于图1的A-A剖面线 的另一剖面图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案 进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实 施例,而不是全部实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人 员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本 发明保护的范围。
请同时参考图1及图2,图1是本发明集成电路配置的示意图,图 2是本发明用于静电防护的半导体结构对应于图1的A-A剖面线的剖面 图。如图1所示,本发明集成电路10包含封环12,金属环14,以及至 少一个电源汇流排16。封环12设置于集成电路10的外围,用以屏蔽电 磁波。金属环14设置于封环12的内侧。电源汇流排16设置于金属环 14的内侧,用以提供电源至集成电路10的元件。如图2所示,封环12、 金属环14以及电源汇流排16形成于集成电路10的金属层M1,而集成 电路10可还包含其他金属层M2、M3设置于金属层M1的上方,以形 成其他元件。本发明用于静电防护的半导体结构100包含第一N型电极 区110,第二N型电极区120,以及第一P型电极区130。第一N型电 极区110形成于P型井20上相对应于封环12的位置,且耦接至封环12。 第二N型电极区120形成于P型井20上相对应于电源汇流排16的位置, 且耦接至电源汇流排16。第一P型电极区130形成于P型井20上相对 应于金属环14的位置,且耦接至金属环14。其中电源汇流排16耦接至 电压源VDD1,金属环14耦接至接地端GND,而封环12可以透过上方 的金属层M2耦接至电源汇流排16,以使封环12和电源汇流排16具有 相同的电压位准。
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