[发明专利]用于静电防护的半导体结构在审
申请号: | 201410469877.5 | 申请日: | 2014-09-15 |
公开(公告)号: | CN105489641A | 公开(公告)日: | 2016-04-13 |
发明(设计)人: | 柯钧钟;吴志伦;林硕彦 | 申请(专利权)人: | 台湾类比科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/41 | 分类号: | H01L29/41;H01L29/06;H01L23/60 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 静电 防护 半导体 结构 | ||
1.一种用于静电防护的半导体结构,其特征在于,该半导体结构设 置于集成电路上,该集成电路包含设置于该集成电路的外围的封环(seal ring),金属环设置于该封环的内侧,以及电源汇流排设置于该金属环的 一侧,该半导体结构包含:
第一N型电极区,形成于P型井上相对应于该封环的位置,且耦接 至该封环;
第二N型电极区,形成于该P型井上相对应于该电源汇流排的位置, 且耦接至该电源汇流排;
第一P型电极区,形成于该P型井上相对应于该金属环的位置,且 耦接至该金属环;
其中该封环及该电源汇流排耦接至电压源,该金属环耦接至接地 端。
2.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,该第一N型 电极区、该第二N型电极区及该第一P型电极区之间被多个绝缘区所隔 开。
3.根据权利要求2所述的半导体结构,其特征在于,该多个绝缘区 为场效氧化(FieldOxide,FOX)区。
4.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,该半导体结构 还包含:
第一N型井,其中该第一N型电极区的中间部分形成于该第一N 型井上,且该第一N型电极区的外围部分形成于该P型井上;
第二N型井,其中该第二N型电极区的中间部分形成于该第二N 型井上,且该第二N型电极区的外围部分形成于该P型井上。
5.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,该半导体结构 还包含:
第一N型掺杂区,形成于该第一N型电极区及该P型井之间,且 该第一N型掺杂区的掺杂浓度较第一N型电极区的掺杂浓度低;
第二N型掺杂区,形成于该第二N型电极区及该P型井之间,且 该第二N型掺杂区的掺杂浓度较第二N型电极区的掺杂浓度低。
6.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,该金属环设置 于该封环及该电源汇流排之间。
7.根据权利要求6所述的半导体结构,其特征在于,该集成电路还 包含金属层,设置于该封环、该金属环及该电源汇流排上方,用以耦接 该封环及该电源汇流排。
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