[发明专利]碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺在审
| 申请号： | 201410466729.8 | 申请日： | 2014-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN104177086A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 牛金叶;田贵山;魏春城 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | C04B35/56 | 分类号： | C04B35/56;C04B35/622 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 255086 山东省淄博*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳化 碳化硅 氮化 三元 导电 陶瓷 蒸发 制备 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于采用以下步骤：（1）将原料碳化锆、碳化硅、氮化硼和高温烧结助剂按重量百分比为：50～60%：5～15%：25～35%：2～5%混合，加入无水乙醇球磨1～3天得到混合均匀的料浆；（2）料浆在旋转蒸发器上蒸发烘干，然后研磨得到混合粉料；（3）再将混合粉料装入表面涂覆氮化硼的石墨磨具中，在氩气气氛下热压烧结，烧结温度为1900～2000℃，保温0.5～2h，压力为20～40MPa，即得碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷；（4）碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷经过机械切割、磨、铣即得碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷蒸发舟。
2.如权利要求1所述的碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于：步骤（1）中原料碳化锆的粒径为1～5μm，碳化硅的粒径为0.5～2μm。
3.如权利要求1所述的碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于：步骤（1）中原料氮化硼为片状，粒径为0.5～5μm，厚度为50～200nm。
4.如权利要求1所述的碳化锆-碳化硅-氮化硼三元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于：步骤（1）中高温烧结助剂由Al粉和Y2O3中的一种或两种的混合。
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