[发明专利]等离子真空泵

权利要求书

1.一种等离子真空泵、包括外壳(1)、套装在外壳内的玻璃泵体(3)、与玻璃泵体(3)连接的进气管(4)和排气管(5)、套装在玻璃泵体(3)上的电子发射环(6)和旋转线圈(8)、为电子发射环(6)供电的高频发生器(7)、为旋转线圈(8)供电的变频器(9)；其特征在于：所述的玻璃泵体(3)是将石英玻璃管制成瓶胆状，玻璃泵体(3)的两头焊接有进气管(4)和排气管(5)；所述的排气管(5)焊接在玻璃泵体(3)的径向；所述的电子发射环(6)套装在玻璃泵体(3)的前部；所述的旋转线圈(8)套装在玻璃泵体(3)的中后部；将套装电子发射环(6)和旋转线圈(8)的玻璃泵体(3)套入外壳(1)内；所述的电子发射环(6)与高频发生器(7)连接；所述的旋转线圈(8)与变频器(9)连接。

2.根据权利要求1所述的等离子真空泵，其特征在于：所述的外壳(1)由上下两截铝套连接而成，外壳(1)与玻璃泵体(3)和进气管(4)以及排气管(5)之间的结合部位设置护垫(2)。

3.根据权利要求1所述的等离子真空泵，其特征在于：所述的旋转线圈(8)是由具有6个内凸极磁环(8-1)上嵌装6只漆包线的绕组(8-2)组成，6只绕组(8-2)与三相的变频器(9)连接。