[发明专利]等离子真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子真空泵，具体涉及高真空除气领域。

背景技术

目前使用的分子泵是依靠涡轮组的高速旋转使被抽气体的动能增加，从而达到除气的目的；由于涡轮组是刚性结构，对被抽气体的初始压力要求非常高：一般在5Pa左右才能够工作，而且不耐大气冲击；如果分子泵一旦受大气冲击很可能损坏，甚至无法修复。

发明内容

本发明提供一种等离子真空泵，它是将电子发射环、旋转线圈套装在玻璃泵体的外壁，在玻璃泵体两头焊接有进排气管；进气管用于与被抽容器连接，排气管用于与前级真空泵连接；利用电子发射环将进入玻璃泵体内的气体部分电离形成等离子气体，等离子气体在旋转线圈形成的旋转磁场中高速旋转；由于气体的粘滞作用，等离子气体带动未能电离的气体分子一起高速旋转形成涡流产生中心真空区进行除气。由于等离子气体在旋转磁场中高速旋转没有机械运动部件，没有振动、结构简单、能耗低、耐大气冲击。

本发明是由如下技术方案实现的：一种等离子真空泵、包括外壳、套装在外壳内的玻璃泵体、与玻璃泵体连接的进气管和排气管、套装在玻璃泵体上的电子发射环和旋转线圈、为电子发射环供电的高频发生器、为旋转线圈供电的调频电路；其特征在于：所述的玻璃泵体是将石英玻璃管制成瓶胆状，玻璃泵体的两头焊接有进气管和排气管；所述的排气管焊接在玻璃泵体的径向；所述的电子发射环套装在玻璃泵体的前部；所述的旋转线圈套装在玻璃泵体的中后部；将套装电子发射环和旋转线圈的玻璃泵体套入外壳内；所述的电子发射环与高频发生器连接；所述的旋转线圈与变频器连接。

所述的外壳由上下两截铝套连接而成，外壳与玻璃泵体和进排气管之间的结合部位设置护垫。

所述的旋转线圈是由具有6个内凸极磁环上嵌装6只漆包线绕组的组成，6只绕组与三相的变频器连接。

本发明的积极效果

1.利用等离子气体在旋转磁场中高速旋转使被抽气体的动能增加，没有机械运动部件，没有振动、能耗低。

2.无须润滑油故没有油气污染。

3.耐大气冲击、压缩比高、被抽气体的初始压力高，在约2000Pa时即可工作。

4.被抽气体在离子态时温度升高有利于除气且真空度高，理论上能达到10﹣12Pa；

5.结构简单、成本低。

附图说明

下面结合附图对本发明进一步详细说明。

图1为本发明的结构示意图。

图2为图1的A-A剖左视图。

图3为本发明的排气工艺流程图。

图中：1、外壳，2、护垫，3、玻璃泵体，4、进气管，5、排气管，6、电子发射环，7、高频发生器，8、旋转线圈，8-1、磁环，8-2、绕组，9、变频器，10、前级真空泵。

具体实施方式

如图1、2所示：一种等离子真空泵、包括外壳1、套装在外壳内的玻璃泵体3、与玻璃泵体3连接的进气管4和排气管5、套装在玻璃泵体3上的电子发射环6和旋转线圈8、为电子发射环6供电的高频发生器7、为旋转线圈8供电的变频器9；其特征在于：所述的玻璃泵体3是将石英玻璃管制成瓶胆状，玻璃泵体3的两头焊接有进气管4和排气管5；所述的排气管5焊接在玻璃泵体3的径向；所述的电子发射环6套装在玻璃泵体3的前部；所述的旋转线圈8套装在玻璃泵体3的中后部；将套装电子发射环6和旋转线圈8的玻璃泵体3套入外壳1内；所述的电子发射环6与高频发生器7连接；所述的旋转线圈8与变频器9连接。

如图1所示：所述的外壳1由上下两截铝套连接而成，外壳1与玻璃泵体3和进气管4以及排气管5之间的结合部位设置护垫2。

如图1、2所示：所述的旋转线圈8是由具有6个内凸极磁环8-1上嵌装6只漆包线的绕组8-2组成，6只绕组8-2与三相的变频器9连接。

如图3所示：所述的等离子真空泵的排气管4与前级泵10连接，通过前级泵10将等离子真空泵内的超低压气体排入大气。

如图1、2、3所示；所述的电子发射环6将进入玻璃泵体3内的气体部分电离，等离子气体在旋转线圈8的作用下在玻璃泵体3内旋转，没有机械运动部件，没有振动、耐大气冲击、压缩比高，被抽气体的初始压力高：约2000Pa时即可工作。