[发明专利]导电性硅橡胶制电极图案的制作方法以及全硅橡胶制静电吸盘及其制造方法

权利要求书

1.导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，将导电性硅橡胶组合物制成片材、将所述导电性硅橡胶组合物的片材层叠于对工序膜进行喷砂加工而粗面化的面，之后，使导电性硅橡胶组合物的片材固化，没有切割工序膜而只将导电性硅橡胶片材切割为电极图案形状后，将多余的导电性硅橡胶片材从工序膜剥离除去。

2.权利要求1所述的导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，采用切割绘图仪将导电性硅橡胶片材切割为电极图案形状。

3.权利要求1或2所述的导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，工序膜是具有耐热性和柔软性的树脂膜。

4.权利要求3所述的导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，树脂膜为选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚碳酸酯、聚醚酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚4-甲基戊烯-1、聚苯硫醚、聚酰亚胺、聚醚醚酮和氟树脂的树脂膜。

5.权利要求1或2所述的导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，导电性硅橡胶是配合炭黑而成的导电性硅橡胶组合物的固化物，其体积电阻率为0.001～1Ω·m的范围。

6.权利要求1或2所述的导电性硅橡胶制电极图案的制作方法，其特征在于，导电性硅橡胶片材的厚度为0.03～2.0mm的范围。

7.全硅橡胶制静电吸盘，特征在于，其是将采用权利要求1～6的任一项所述的方法得到的导电性硅橡胶制电极图案埋设在绝缘性硅橡胶的内部而成的，具有伸缩性。

8.全硅橡胶制静电吸盘的制造方法，其特征在于，在采用权利要求1～6的任一项所述的方法得到的导电性硅橡胶制电极图案的与工序膜相反的面上，层叠绝缘性硅橡胶组合物后，使该绝缘性硅橡胶组合物固化而一体化，进而将工序膜剥离，在剥离面的导电性硅橡胶制电极图案上层叠绝缘性硅橡胶组合物后使绝缘性硅橡胶组合物固化而一体化。