[发明专利]固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法以及电子装置

说明书

本发明涉及固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法以及包括该固体摄像装置的电子装置。所述固态摄像装置包括：彼此相邻的多个相位差检测像素；以及分离结构，其布置成分离进入所述多个相位差检测像素的每个光接收单元的光，所述分离结构形成为侧壁面具有倾斜且横截面具有逐渐减小的形状。根据本发明，能够防止AF的精确性降低。

技术领域

本发明涉及固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法以及电子装置，并且尤其涉及能够防止自动聚焦(AF)的精确性降低的固态摄像装置、制造固态摄像装置的方法以及电子装置。

背景技术

近年来，通过在成像元件中设置相位差检测像素来执行相位差检测和自动聚焦的固态摄像装置已被熟知，其中在相位差检测像素中对光电转换单元的一部分进行遮光(例如，参照日本专利申请公开2010-160313号专利文献)。相比于过去的借助对比度检测方法的AF，借助这种相位差检测方法实现的AF的优点在于能够进行高速AF操作。

用于实现高速AF操作的相位差检测像素包括用于选择进入像面的光的入射角并接收光的功能(下文中指分离能力)，并且通常通过设置在光电转换单元的上层上的遮光膜来分离并接收从瞳面左侧进入的光以及从瞳面右侧进入的光，从而检测焦点位置。

与此同时，近年来，注意到这样的趋势：随着像素数的增加，像素大小减小。然而，这导致像素的灵敏度的降低。尤其是与普通的用于成像的像素(成像像素)相比，由于遮光膜的遮光作用，相位差检测像素灵敏度降低，从而相位差检测像素严重地受到由于减小的像素大小而使得灵敏度降低的影响。结果，像素大小的降低可能降低借助于相位差检测方法的AF的精确性。

发明内容

鉴于上述情况构思了本发明，从而防止AF的精确性被降低。

根据本发明的实施例，提供一种固态摄像装置，其包括：彼此相邻的多个相位差检测像素；以及分离结构，其布置成分离进入所述多个相位差检测像素的每个光接收单元的光，所述分离结构形成为侧壁面具有倾斜且横截面具有逐渐减小的形状。

固态摄像装置还可以包括：与所述多个相位差检测像素相对应地形成的微透镜。

所述分离结构的折射率与所述分离结构周围的材料的折射率之间的差为0.2以上。

所述分离结构的折射率大约是1。

所述微透镜形成为具有比与成像像素相对应地形成的其他微透镜的透镜光学能力高的透镜光学能力，所述成像像素与所述多个相位差检测像素一起布置在像素区中。

所述分离结构形成为使得所述侧壁面的倾斜是根据所述多个相位差检测像素的分离特性来调整的。

所述分离结构形成为使得上表面的宽度是根据所述多个相位差检测像素的分离特性来调整的。

在所述多个相位差检测像素的每个所述光接收单元之间形成有沟槽。

在所述分离结构的上表面上形成有防反射膜。

所述多个相位差检测像素具有形成于所述微透镜的下层中的滤光器。

与相邻的两个所述相位差检测像素相对应地形成所述微透镜。

与布置成矩阵形式的四个所述相位差检测像素相对应地形成所述微透镜。

根据本发明的实施例，提供一种制造固态摄像装置的方法，所述固态摄像装置包括：彼此相邻的多个相位差检测像素；以及分离结构，其布置成分离进入所述多个相位差检测像素的每个光接收单元的光。该方法包括：形成所述分离结构，使得所述分离结构的侧壁面具有倾斜且横截面具有逐渐减小的形状。