[发明专利]泵浦源检测装置及检测方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种泵浦源检测装置及其检测方法。 

【背景技术】

随着全固态激光器在国防、科研、工业以及医疗等技术领域呈现出越来越广泛的应用前景，作为其中核心部件的半导体侧泵模块也在向着结构紧凑、泵浦均匀和高能量方向发展。 

目前市场上侧泵模块通常用的半导体水平阵列呈现正三角形、正五边形或者正七边形等分布进行等间距环绕封装。对于大口径侧泵模块(通常激光增益介质直径8mm以上)，为了实现泵浦光均匀照射激光增益介质和提高激光棒储能，通常采用正十一边形、正十五边形等多线Bar环绕封装结构。这些多线Bar封装而成的环形泵浦源在实际应用中需要对其各个单线Bar的辐射光的发光特性进行检测，包括对各个单线Bar的辐射光的发光强度、快慢轴发散角、光谱进行测试，以确定环形半导体泵浦源的工作状态。而现有间接的测量方法是在多个单线Bar的辐射光被封装成环形泵浦源之前进行单线Bar的辐射光的单独测试。在环形Bar封装完成后，由于封装紧凑导致对单个Bar的测量势必受到相邻单线Bar发射泵浦光的影响以及发光面开口朝内引起的空间限制所导致了测量不可行性。 

因此，当前迫切需要提供一种能够测量环形半导体泵浦源中各个单线Bar的辐射光发射强度、快慢轴发散角、光谱特性检测工装和测试方法。 

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种泵浦源检测装置，该泵浦源检测装置能够对多个单线Bar完成封装形成的环形半导体泵浦源后的单线Bar的辐射光的发射强度、 快慢轴发散角、光谱特性进行检测，以提高环形半导体泵浦源的使用效率和使用寿命。 

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案： 

一种泵浦源检测装置，包括： 

底座，开设有燕尾槽及方形槽，所述燕尾槽沿所述底座的水平方向设置，所述方形槽开设于所述底座的一端； 

泵浦源组件，包括： 

泵浦源夹持支架，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑动； 

环状半导体泵浦源，固定设于所述泵浦源夹持支架的竖直部，所述泵浦源夹持支架的竖直部还开设有与所述环形半导体泵浦源圆心重合的通孔，包括冷却热沉、封装于所述冷却热沉上的若干水平线Bar、开设于所述冷却热沉上的冷却水输入口及冷却水输出口；及 

衰减片夹持部，固定设于所述泵浦源夹持支架的竖直部上，且与所述环状半导体泵浦源位于所述竖直部的同一侧，所述衰减片夹持部用于夹持衰减片，所述衰减片的厚度可调； 

选光器组件，包括： 

选光器支座，呈倒T型，其水平部可沿所述燕尾槽滑动； 

锁紧环，可旋转地安装于所述选光器支座的竖直部上；及 

卡光桶，其内部收容有反射镜，所述反射镜通过一支杆固定连接于所述锁紧环，所述卡光桶的桶壁上还开设有通光槽，所述反射镜的反射面正对所述通光槽，通过所述锁紧环带动所述支杆旋转，使得所述通光槽对准所述水平线Bar； 

发散角测试组件，包括： 

CCD采集光具座，由第一二维移动平台组成，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动； 

线阵CCD，固定于所述CCD采集光具座上，其采集面可以围绕所述线阵CCD的采集面的中心轴自由旋转，所述线阵CCD用于接受经过所述反射镜发射的水平线Bar的辐射激光； 

光强测试组件，包括： 

能量采集光具座，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动； 

能量计探头，通过一可伸缩杆与所述能量采集光具座固定连接，所述能量计探头用于接收经所述反射镜反射的水平线Bar的辐射光； 

光谱测试组件，包括： 

光谱采集光具座，可在所述燕尾槽内和所述方形槽内沿水平和竖直方向移动； 

光电探头，安装于所述光谱采集光具座上，用于接收经所述反射镜反射的水平线Bar的辐射光。 

在一些实施例中，所述水平线Bar为15条，且等间距地封装于所述冷却热沉上。 

在一些实施例中，所述泵浦源夹持支架的竖直部还开设有与所述环形半导体泵浦源圆心重合且半径相等的通孔。 

在一些实施例中，所述泵浦源夹持支架的竖直部还设有两个通水孔，所述两个通水孔分别与所述冷却水输入口及冷却水输出口重合。 

在一些实施例中，所述衰减片夹持部上开设有若干夹持槽及贯穿所述夹持槽的螺孔，通过螺母与螺孔配合将所述衰减片夹持于所述夹持槽内。