[发明专利]制造显示设备的方法

说明书

本发明提供了一种制造显示设备的方法，该制造显示设备的方法包括下述步骤：通过溅射工艺在发射单元形成在其上的第一基底上形成第一无机层；以非接触方式通过吸收从第一无机层形成在其上的第一基底发射的辐射来使第一基底冷却；通过有机沉积工艺在第一无机层上形成第一有机层；在第一有机层上形成第二无机层。

本申请要求于2013年8月27日在韩国知识产权局提交的第10-2013-0102002号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。

技术领域

本发明的一个或更多个实施例涉及一种利用薄膜包封制造装置的显示装置制造方法。

背景技术

近来，已变得广泛地应用移动电子装置。除了诸如移动电话的紧凑型电子装置以外，平板个人计算机(PC)近来也已经变得广泛地用作移动电子装置。

为了提供各种功能，移动电子装置包括显示设备以向用户提供诸如图像的视觉信息。近来，由于用于驱动显示装置的组件已经变得紧凑，因此显示装置占据电子装置的比例逐渐增大。也已经研发了从平面态可弯曲直至成一定角度(例如，直至成预定角度)的显示装置。

具体地，可以利用多层薄膜来包封柔性显示装置的发光单元，以增加显示装置的寿命或使用期限。在这种情况下，最近正在对在包封期间形成的包封薄膜进行研究。

发明内容

本发明的一个或更多个实施例的多个方面涉及一种利用薄膜包封制造设备的显示设备制造方法，其能够调整有机层和无机层的厚度并且维持(例如，均匀地维持)各种薄膜设备的真空度。

下面的描述中将部分地阐述附加方面和特征，并且附加方面和特征部分地将通过描述而清楚，或者可以通过给出的实施例的实施而了解。

根据本发明的一个或更多个实施例，一种制造显示设备的方法包括下述步骤：通过利用溅射工艺在发射单元形成在其上的第一基底上形成第一无机层；以非接触方式通过吸收从第一无机层形成在其上的第一基底发射的辐射来使第一基底冷却；通过有机沉积工艺在第一无机层上形成第一有机层；在第一有机层上形成第二无机层。

可以在使第一基底翻转之后形成第二无机层。

所述方法还可以包括以非接触方式使第一有机层形成在其上的第一基底冷却。

可以分别在第一簇件的多个第一处理室、第二簇件的多个第二处理室和第三簇件的多个第三处理室中形成第一无机层、第一有机层和第二无机层。

可以确定第一簇件的所述多个第一处理室、第二簇件的所述多个第二处理室和第三簇件的所述多个第三处理室的顺序，可以根据确定的顺序分别在第一簇件的所述多个第一处理室中的第一个第一处理室、第二簇件的所述多个第二处理室中的第一个第二处理室和第三簇件的所述多个第三处理室中的第一个第三处理室中形成第一无机层、第一有机层和第二无机层。

第一簇件和第二簇件可以通过第一连接模块结合，第一连接模块被构造成将第一基底从第一簇件输送至第二簇件，当输送第一基底时，第一簇件的内部压强与第一连接模块的内部压强可以基本相同，或者第一连接模块的内部压强与第二簇件的内部压强可以基本相同。

第二簇件和第三簇件可以通过第二连接模块结合，第二连接模块被构造成将第一基底从第二簇件输送至第三簇件，当输送第一基底时，第二簇件的内部压强与第二连接模块的内部压强可以基本相同，或者第二连接模块的内部压强与第三簇件的内部压强可以基本相同。

可以顺序地执行第一基底的冷却步骤、第一有机层的形成步骤和第二无机层的形成步骤，使得第一有机层和第二无机层交替地堆叠在第一无机层上。

可以通过向下沉积来形成第一无机层和第一有机层，可以通过向上沉积来形成第二无机层。

在形成第一无机层之前，可以通过装载簇件从外部接收其上形成有发射单元的第一基底。