[发明专利]炉管制作工艺的派工控制方法

权利要求书

1.一种炉管制作工艺的派工控制方法，包括：

在多批晶片进入一炉管之前，算出各批晶片的一特性变异值；

将该多批晶片依照该些特性变异值的大小进行排序；以及

将该多批晶片依照该些特性变异值由大到小的顺序对应于该炉管中造成该特性变异值变小到变大的多个位置摆放在该炉管中，

其中该些特性变异值是由该特性变异值的函数所算出，该特性变异值的函数相关于栅极长度与用于形成源极与漏极时的残留氧化硅的厚度中的至少一者。

2.如权利要求1所述的炉管制作工艺的派工控制方法，还包括在该多批晶片进入该炉管之前，定义与产品相关的一特性参数值。

3.如权利要求2所述的炉管制作工艺的派工控制方法，其中该特性参数值包括临界电压、饱和电流或电阻值。

4.如权利要求1所述的炉管制作工艺的派工控制方法，还包括对排序后的该多批晶片进行挑选。

5.如权利要求4所述的炉管制作工艺的派工控制方法，其中对该多批晶片进行挑选的方法包括对排序后的该多批晶片按照平均批数间隔进行挑选。

6.如权利要求4所述的炉管制作工艺的派工控制方法，其中对该多批晶片进行挑选的方法包括将排序后的该多批晶片依序编上批号，且对按照下列方程式计算出的值进行四舍五入来挑选批号：

其中，N为0以上的整数，且N的最大值为一批次的最大批数减1。

7.如权利要求1所述的炉管制作工艺的派工控制方法，其中由先进制作工艺控制系统计算出该多批晶片的该些特性变异值。

8.如权利要求1所述的炉管制作工艺的派工控制方法，其中由派工系统决定一批次内的该多批晶片在该炉管中的摆放位置。

9.如权利要求1所述的炉管制作工艺的派工控制方法，其中由制造执行系统执行该多批晶片的派工。