[发明专利]用于固持衬底的设备

权利要求书

1.一种用于固持衬底的设备，其特征在于所述设备包括：

固持台，所述衬底固持在所述固持台的顶面上；

多个抽吸通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，并且所述多个抽吸通道布置在所述固持台的宽度方向上以通过使用真空吸力来支撑所述衬底；

多个通风通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，所述多个通风通道布置在所述固持台的所述宽度方向上，使得所述多个通风通道位于所述多个抽吸通道之间以通过所述通风通道释放所述衬底与所述固持台之间的气体；以及

多个衬底支撑件，布置在所述固持台的所述宽度方向上，所述多个衬底支撑件升高或降低以允许在所述固持台上加载所述衬底以及从所述固持台卸载所述衬底。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于所述多个抽吸通道的多个部分在所述固持台的X方向上延伸，并且在Y方向上彼此间隔开，并且

其余所述多个抽吸通道在所述固持台的所述Y方向上延伸，并且在所述X方向上彼此间隔开。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于在所述X方向上延伸的所述抽吸通道与在所述Y方向上延伸的所述抽吸通道彼此交叉。

4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于所述多个通风通道中的每一者是在所述多个抽吸通道之间界定的，

其中所述多个通风通道的多个部分在所述固持台的所述X方向上延伸，并且在所述Y方向上彼此间隔开，并且

其余所述多个通风通道在所述固持台的所述Y方向上延伸，并且在所述X方向上彼此间隔开。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于在所述X方向上延伸的所述通风通道与在所述Y方向上延伸的所述通风通道彼此交叉。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于所述多个衬底支撑件中的支撑所述衬底的边缘的所述衬底支撑件的高度高于支撑所述衬底的中心区域的所述支撑件的高度。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于所述多个抽吸通道包括：中心抽吸通道，界定在一个区域中，所述衬底的中心区域在所述区域上面被支撑在所述固持台上；以及

周边抽吸通道，界定在所述中心抽吸通道外部的周边中。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于进一步包括连接到所述多个抽吸通道的抽吸控制单元，

其中所述抽吸控制单元控制所述抽吸通道，使得从所述中心抽吸通道到所述周边抽吸通道以一时间间隔连续产生所述真空吸力。