[发明专利]一种半导体生产工艺配方的管控方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种半导体生产工艺配方的管控方法及系统。

背景技术

在集成电路制造领域，生产工艺配方(Recipe)是存储生产工艺信息的文件，其内容可包含工艺加工过程中的多个步骤以及各个步骤的各种工艺参数值和该步骤的持续时间，这些内容被保存在设备端。半导体制造的过程中每一个生产环节都离不开Recipe，设备可依靠Recipe的内容完成对物料的加工，由此看出，正是生产工艺配方真正决定生产原料作用于晶圆的步骤与方法，它是直接影响生产质量的关键。

在一个成熟的半导体制造生产线，通常同一生产步骤是可以由多个设备完的，这样不仅仅保证了设备利用率还支持多种产能调配策略，因此相同的Recipe需要部署在不同设备上。但由于设备自身的特性不尽相同，Recipe在部署到不同设备上的时候需要做出微调才能保证不同设备有相同的产出品质。

这些分布在不同生产设备上的用于同一生产步骤的Recipe，通常使用统一的Recipe ID，生产要求这些Recipe要保证主体信息一致，同时细部信息要有调整，这些Recipe之间存在一种不完全的一致性要求(简称：关联Recipe，Relational Recipe)。如何有效管理这些Recipe就成了一个决定能否高效生产的问题。

通常半导体生产系统包括可以设置和控制数个生产设备的生产工艺配方管理系统(Recipe Management System简称RMS)，连接至该RMS上的数个工作设备具有执行相同工艺步骤的Recipe。RMS支持将生产设备上的Recipe信息上传，并设置管控阀值(Spec)，在生产时检验Recipe的具体参数。这在很大程度上帮助了制程工程师(Process Engineer简称PE)管理在某一设备上的某一Recipe，但是针对这种存在多个设备上的有一定一致性关系的Recipe就显得力不能支了。

PE通常的做法是手动将不同设备上的相关Recipe进行对比，确认其间的差异信息，如果可以接受那么投产，否则认为Recipe设置有误，并人为去调整。没有任何系统保证PE的操作实施的频次与质量，且整个过程没有其他人员有力参与，完全处于“暗操作”状态，因此这个人工操作过程的可靠非常低。

设备上的Recipe的详细信息由于需要经过转译才可读，因此这部分信息集中在RMS系统中，与外部系统的接入性相对较低，这就导致由于相关Recipe的设置有误而造成的生产质量问题非常不易识别。

因此，提供一种新型的半导体生产工艺配方的管控方法及系统是本领域技术人员需要解决的课题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种半导体工艺配方的管控方法及系统，用于解决现有技术中人为进行关联配方校准时可靠性低的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种半导体生产工艺配方的管控方法，所述半导体生产工艺配方的管控方法至少包括步骤：

1)提供存储有关联配方的一组工艺设备；

2)识别其中一个工艺设备上存储的配方为基准配方；

3)将该组中其他工艺设备上存储的配方与所述基准配方一一参照对比，并生成差异报表，判断差异报表中每一个工艺设备的配方与基准配方的差异信息，若差异信息符合工艺要求，则投产；不符合则放弃投产。

作为本发明半导体生产工艺配方的管控方法的一种优化的方案，具有相同的设备信息和配方编号的一组配方定义为关联配方，所述关联配方既体现组内配方的一致性，又体现组内配方的差异性，具有关联配方的一组工艺设备用于执行相同的工艺步骤。

作为本发明半导体生产工艺配方的管控方法的一种优化的方案，所述设备信息包括设备型号、软件版本和生产用途。

作为本发明半导体生产工艺配方的管控方法的一种优化的方案，所述步骤2)中采用系统识别模块来识别基准配方，所述基准配方为组内第一个授权投产的配方。

作为本发明半导体生产工艺配方的管控方法的一种优化的方案，若系统识别模块无法识别基准配方，则手动选择产品产出质量最优的配方为基准配方。

本发明还提供一种半导体生产工艺配方的管控系统，所述半导体生产工艺配方的管控系统至少包括：

用于识别基准配方的识别模块；

用于对比关联配方中指定的配方与所述基准配方之间的差异并产生差异报表的对比模块；

用于显示所述差异信息的显示模块。