[发明专利]用微波烧结法制备氮化硅结合碳化硅复合材料的方法

权利要求书

1.一种用微波烧结法制备氮化硅结合碳化硅复合材料的方法，其特征在于先将50~80wt%的碳化硅颗粒、5~25wt%的碳化硅粉、5~30wt%的单质硅粉、1~4wt%的羧甲基纤维素和1~5wt %的水混合，成型；

将成型后的坯体置入真空微波烧结炉中，先抽真空至所述微波烧结炉内的压强≤20Pa，再充入氮气，然后在氮气气氛和1300~1600℃条件下烧结0.5~5小时，即得氮化硅结合碳化硅复合材料。

2.根据权利要求1所述的用微波烧结法制备氮化硅结合碳化硅复合材料的方法，其特征在于所述碳化硅颗粒的粒径为7~0.1mm，碳化硅颗粒的SiC含量≥95wt%。

3.根据权利要求1所述的用微波烧结法制备氮化硅结合碳化硅复合材料的方法，其特征在于所述碳化硅粉的粒径为5~100μm，碳化硅粉的SiC含量≥95wt%。

4.根据权利要求1所述的用微波烧结法制备氮化硅结合碳化硅复合材料的方法，其特征在于所述单质硅粉的粒径为5~100μm，单质硅粉的Si含量≥95wt%。

5.根据权利要求1所述的用微波烧结法制备氮化硅结合碳化硅复合材料的方法，其特征在于所述氮气的纯度≥99.9Vol%。