[发明专利]Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜及触摸面板

权利要求书

1.一种Cu合金靶用材料，其具有以下的特征：

(1)所述Cu合金靶用材料含有2.0～10.0at％的Zn，进而含有含量为1.0～6.0at％的选自由Mg、Cr、Ca、Sn和B组成的组中的一种元素，或者进而含有含量为0.7～6.0at％的Ti和Al中的任一种元素，剩余部分由Cu和不可避免的杂质组成；以及

(2)所述Cu合金靶用材料被用于靶，该靶用于将触摸面板的传感器电极和/或布线中使用的Cu合金膜形成于基板上。

2.根据权利要求1所述的Cu合金靶用材料，含有含量为1.0～6.0at％的Ti和Al中的任一种元素。

3.根据权利要求1所述的Cu合金靶用材料，其中，Zn含量为2.0～6.0at％。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的Cu合金靶用材料，其中，所述选自由Mg、Cr、Ca、Ti、Al、Sn和B组成的组中的一种元素的含量与所述Zn的含量之比为2.0以下。

5.一种Cu合金靶，其使用权利要求1～4中任一项所述的Cu合金靶用材料制作。

6.一种Cu合金膜，其使用权利要求5所述的Cu合金靶形成于所述基板上。

7.根据权利要求6所述的Cu合金膜，其在与所述基板的界面附近具备富集层。

8.根据权利要求6或7所述的Cu合金膜，其中，与所述基板的附着性为根据JIS K5600-5-6：1999规定的分类0～3。

9.根据权利要求6或7所述的Cu合金膜，其中，电阻率为8.0μΩ·cm以下。

10.根据权利要求6或7所述的Cu合金膜，其中，反射率为50％以下。

11.根据权利要求6或7所述的Cu合金膜，其中，所述基板为聚对苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜基板。

12.一种触摸面板，其具备权利要求6～11中任一项所述的Cu合金膜。