[发明专利]使用环境透射电子显微镜的方法以及环境透射电子显微镜

权利要求书

1.一种使用环境透射电子显微镜（100）的方法，所述环境透射电子显微镜包括： 

·   电子源（102），用于产生电子束； 

·   聚光镜系统（106），用于将电子束指引到样品（114）上，所述样品位于样品室（138）中； 

·   成像系统（118），用于在检测器系统（126）上对透射通过样品的电子进行成像； 

·   气体调节系统（128），用于调节样品室中的气体压力和气体组成，所述气体调节系统使样品室的至少部分中保持0.5与50 mbar之间的压力， 

所述环境透射电子显微镜遭受气体诱发的分辨率劣化，

其特征在于， 

所述环境透射电子显微镜包括在样品室中产生去除所述电离气体的电场的装置（144、146、142），作为其结果，气体诱发的分辨率劣化被减小。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述电场是平行于射束的电场。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述电场是垂直于射束的电场。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，垂直于射束且垂直于电场的磁场对抗所述电场对射束的影响。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中，样品室被嵌入在环境透射电子显微镜的真空室中。

6.一种环境透射电子显微镜（100），所述环境透射电子显微镜包括： 

· 电子源（102），用于产生电子束； 

· 聚光镜系统（106），用于将电子束指引到样品（114）上，所述样品位于样品室（138）中； 

· 成像系统（118），用于在检测器系统（126）上对透射通过样品的电子进行成像； 

· 气体调节系统（128），用于调节样品室中的气体压力和气体组成，所述气体调节系统能使样品室的至少部分中保持在0.5与50 mbar之间的压力， 

所述环境透射电子显微镜在工作中遭受气体诱发的分辨率劣化， 

其特征在于， 

所述环境透射电子显微镜被提供有用于在样品室中产生电场的装置( 144、146、142），所述电场去除电离气体，所述装置不是检测器的一部分或不包括检测器。