[发明专利]边缘裂缝检测系统

说明书

本发明根据一些实施例提供了一种在测试中检测管芯中的边缘裂缝的方法。该方法包括以下操作：接收指令信号；由指令信号提供功率；基于指令信号提供响应信号；以及基于指令信号自毁。本发明还涉及边缘裂缝检测系统。

技术领域

本发明涉及边缘裂缝检测系统。

背景技术

在管芯锯切期间，管芯经常产生边缘裂缝。用于检测边缘裂缝的传统的方法是目测，在晶圆级封装工艺(诸如，带和卷(tape and reel，TnR))之后，目测就不能实现了。因此，需要开发一种用于检测边缘裂缝的新方法。

发明内容

为了解决现有技术中的问题，本发明提供了一种在测试中检测管芯中的边缘裂缝的方法，包括：接收指令信号；由所述指令信号提供功率；基于所述指令信号提供响应信号；以及基于所述指令信号自毁。

在上述方法中，还包括比较所述指令信号与查找表以确定是否提供所述响应信号或自毁。

根据本发明的另一个方面，提供了一种在测试中检测管芯中的边缘裂缝的方法，包括：通过使用RFID阅读器以提供与RFID标签的响应相关的指令信号；通过使用RFID标签以接收所述指令信号并且由所述指令信号产生功率；通过使用所述RFID标签以基于所述指令信号提供响应信号；通过使用所述RFID阅读器以接收所述响应信号并且基于所述响应信号提供与所述RFID标签的自毁相关的指令信号；以及通过使用所述RFID标签以接收所述指令信号并且基于所述指令信号自毁。

在上述方法中，还包括在所述管芯的密封环下方设置所述RFID标签的处理器。

在上述方法中，还包括在所述管芯的密封环外侧设置所述RFID标签的天线。

在上述方法中，还包括当接收所述响应信号时，确定测试中的所述管芯没有边缘裂缝。

在上述方法中，还包括在所述RFID标签自毁之后，不再提供所述响应信号。

在上述方法中，还包括在所述RFID标签自毁之后，在测试中所述管芯不受影响。

在上述方法中，还包括通过使用所述RFID标签以对比所述指令信号与查找表，从而确定是否提供所述响应信号或自毁。

在上述方法中，其中，通过使用所述RFID阅读器提供所述指令信号还包括：以电磁波的形式提供所述指令信号。

在上述方法中，其中，通过使用所述RFID标签提供所述响应信号还包括：以电磁波的形式提供所述响应信号。

根据本发明的又一个方面，提供了一种用于测试中的管芯的边缘裂缝检测系统，包括：RFID阅读器，提供指令信号；以及RFID标签，无线连接至所述RFID阅读器，接收所述指令信号，由所述指令信号产生功率，并且基于所述指令信号提供响应信号，其中，所述RFID阅读器接收所述响应信号并且基于所述响应信号提供与所述RFID标签的自毁相关的所述指令信号，并且所述RFID标签接收所述指令信号且基于所述指令信号自毁。

在上述系统中，当接收到所述响应信号时，所述RFID阅读器确定测试中的所述管芯没有边缘裂缝。

在上述系统中，其中，在所述RFID标签自毁之后，所述RFID标签不再提供所述响应信号。

在上述系统中，其中，在所述RFID标签自毁之后，所述RFID标签对测试中的所述管芯没有影响。

在上述系统中，其中，所述RFID标签比较所述指令信号与查找表以确定是否提供所述响应信号或自毁。

在上述系统中，其中，所述RFID阅读器以电磁波的形式提供所述指令信号。

在上述系统中，其中，所述RFID标签以电磁波的形式提供所述响应信号。