[发明专利]边缘裂缝检测系统在审
| 申请号: | 201410392742.3 | 申请日: | 2014-08-11 |
| 公开(公告)号: | CN105224978A | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
| 发明(设计)人: | 萧焕廷;徐安泰;曹佩华;蔡承纮;陈翠媚;卢乃诚 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | G06K19/077 | 分类号: | G06K19/077 |
| 代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;孙征 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 边缘 裂缝 检测 系统 | ||
1.一种在测试中检测管芯中的边缘裂缝的方法,包括:
RFID标签接收指令信号,其中,将所述RFID标签的天线环绕在所述管芯的密封环外侧;
由所述指令信号提供功率;
基于所述指令信号提供响应信号;以及
基于所述指令信号自毁。
2.根据权利要求1所述的方法,还包括比较所述指令信号与查找表以确定是否提供所述响应信号或自毁。
3.一种在测试中检测管芯中的边缘裂缝的方法,包括:
通过使用RFID阅读器以提供与RFID标签的响应相关的指令信号;
将所述RFID标签的天线环绕在所述管芯的密封环外侧;
通过使用RFID标签以接收所述指令信号并且由所述指令信号产生功率;
通过使用所述RFID标签以基于所述指令信号提供响应信号;
通过使用所述RFID阅读器以接收所述响应信号并且基于所述响应信号提供与所述RFID标签的自毁相关的指令信号;以及
通过使用所述RFID标签以接收所述指令信号并且基于所述指令信号自毁。
4.根据权利要求3所述的方法,还包括在所述管芯的密封环下方设置所述RFID标签的处理器。
5.根据权利要求3所述的方法,还包括当接收所述响应信号时,确定测试中的所述管芯没有边缘裂缝。
6.根据权利要求3所述的方法,还包括在所述RFID标签自毁之后,不再提供所述响应信号。
7.根据权利要求3所述的方法,还包括在所述RFID标签自毁之后,在测试中所述管芯不受影响。
8.根据权利要求3所述的方法,还包括通过使用所述RFID标签以对比所述指令信号与查找表,从而确定是否提供所述响应信号或自毁。
9.根据权利要求3所述的方法,其中,通过使用所述RFID阅读器提供所述指令信号还包括:以电磁波的形式提供所述指令信号。
10.根据权利要求3所述的方法,其中,通过使用所述RFID标签提供所述响应信号还包括:以电磁波的形式提供所述响应信号。
11.一种用于测试中的管芯的边缘裂缝检测系统,包括:
RFID阅读器,提供指令信号;以及
RFID标签,无线连接至所述RFID阅读器,接收所述指令信号,由所述指令信号产生功率,并且基于所述指令信号提供响应信号,其中,所述RFID标签还包括设置在所述管芯的密封环外侧的天线,
其中,所述RFID阅读器接收所述响应信号并且基于所述响应信号提供与所述RFID标签的自毁相关的所述指令信号,并且所述RFID标签接收所述指令信号且基于所述指令信号自毁。
12.根据权利要求11所述的系统,当接收到所述响应信号时,所述RFID阅读器确定测试中的所述管芯没有边缘裂缝。
13.根据权利要求11所述的系统,其中,在所述RFID标签自毁之后,所述RFID标签不再提供所述响应信号。
14.根据权利要求11所述的系统,其中,在所述RFID标签自毁之后,所述RFID标签对测试中的所述管芯没有影响。
15.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID标签比较所述指令信号与查找表以确定是否提供所述响应信号或自毁。
16.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID阅读器以电磁波的形式提供所述指令信号。
17.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID标签以电磁波的形式提供所述响应信号。
18.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID标签还包括:设置在所述管芯的密封环下方的处理器。
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