[发明专利]边缘裂缝检测系统在审

专利信息
申请号: 201410392742.3 申请日: 2014-08-11
公开(公告)号: CN105224978A 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 萧焕廷;徐安泰;曹佩华;蔡承纮;陈翠媚;卢乃诚 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: G06K19/077 分类号: G06K19/077
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 边缘 裂缝 检测 系统
【权利要求书】:

1.一种在测试中检测管芯中的边缘裂缝的方法,包括:

RFID标签接收指令信号,其中,将所述RFID标签的天线环绕在所述管芯的密封环外侧;

由所述指令信号提供功率;

基于所述指令信号提供响应信号;以及

基于所述指令信号自毁。

2.根据权利要求1所述的方法,还包括比较所述指令信号与查找表以确定是否提供所述响应信号或自毁。

3.一种在测试中检测管芯中的边缘裂缝的方法,包括:

通过使用RFID阅读器以提供与RFID标签的响应相关的指令信号;

将所述RFID标签的天线环绕在所述管芯的密封环外侧;

通过使用RFID标签以接收所述指令信号并且由所述指令信号产生功率;

通过使用所述RFID标签以基于所述指令信号提供响应信号;

通过使用所述RFID阅读器以接收所述响应信号并且基于所述响应信号提供与所述RFID标签的自毁相关的指令信号;以及

通过使用所述RFID标签以接收所述指令信号并且基于所述指令信号自毁。

4.根据权利要求3所述的方法,还包括在所述管芯的密封环下方设置所述RFID标签的处理器。

5.根据权利要求3所述的方法,还包括当接收所述响应信号时,确定测试中的所述管芯没有边缘裂缝。

6.根据权利要求3所述的方法,还包括在所述RFID标签自毁之后,不再提供所述响应信号。

7.根据权利要求3所述的方法,还包括在所述RFID标签自毁之后,在测试中所述管芯不受影响。

8.根据权利要求3所述的方法,还包括通过使用所述RFID标签以对比所述指令信号与查找表,从而确定是否提供所述响应信号或自毁。

9.根据权利要求3所述的方法,其中,通过使用所述RFID阅读器提供所述指令信号还包括:以电磁波的形式提供所述指令信号。

10.根据权利要求3所述的方法,其中,通过使用所述RFID标签提供所述响应信号还包括:以电磁波的形式提供所述响应信号。

11.一种用于测试中的管芯的边缘裂缝检测系统,包括:

RFID阅读器,提供指令信号;以及

RFID标签,无线连接至所述RFID阅读器,接收所述指令信号,由所述指令信号产生功率,并且基于所述指令信号提供响应信号,其中,所述RFID标签还包括设置在所述管芯的密封环外侧的天线,

其中,所述RFID阅读器接收所述响应信号并且基于所述响应信号提供与所述RFID标签的自毁相关的所述指令信号,并且所述RFID标签接收所述指令信号且基于所述指令信号自毁。

12.根据权利要求11所述的系统,当接收到所述响应信号时,所述RFID阅读器确定测试中的所述管芯没有边缘裂缝。

13.根据权利要求11所述的系统,其中,在所述RFID标签自毁之后,所述RFID标签不再提供所述响应信号。

14.根据权利要求11所述的系统,其中,在所述RFID标签自毁之后,所述RFID标签对测试中的所述管芯没有影响。

15.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID标签比较所述指令信号与查找表以确定是否提供所述响应信号或自毁。

16.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID阅读器以电磁波的形式提供所述指令信号。

17.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID标签以电磁波的形式提供所述响应信号。

18.根据权利要求11所述的系统,其中,所述RFID标签还包括:设置在所述管芯的密封环下方的处理器。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410392742.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top