[发明专利]修复有机发光显示设备的方法在审
申请号: | 201410389750.2 | 申请日: | 2014-08-08 |
公开(公告)号: | CN104425771A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 李在一;田效理;崔喜娟;朴英吉 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;宋志强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 修复 有机 发光 显示 设备 方法 | ||
相关申请
本申请要求2013年8月28日在韩国知识产权局提交的申请号为10-2013-0102655的韩国专利申请的权益,通过引用将其内容合并于此。
技术领域
本发明的一个或多个实施例涉及一种修复有机发光显示设备的方法。
背景技术
最近,显示设备被薄且便携的平板显示设备所替代。在平板显示设备中,有机发光显示设备具有宽的视角,卓越的对比度以及高响应速度。因此,有机发光显示设备作为下一代显示设备备受关注。
有机发光显示设备包括多个薄膜晶体管(TFT)。有机层可形成在每个TFT上。导线和电极可形成在发射层上。然而,与无机层相比,有机层可容易受损,并因此当导线和电极之间出现短路或断线时,有机发光显示设备难以修复。
发明内容
本发明提供一种使下有机层较少受损的修复有机发光显示设备的方法。
另外的方面将在随后的描述中部分地进行阐述并且从该描述中部分地将显而易见。
一种修复有机发光显示设备的方法,所述有机发光显示设备包括:基板;形成在所述基板上的有机发光器件;形成在所述基板上的薄膜晶体管(TFT);形成在所述TFT上的有机绝缘层;以及形成在所述有机绝缘层上的导电图案,所述导电图案包括所述导电图案中的两个导电元件之间的短路部分,所述方法包括:通过使用聚焦离子束(FIB)移除所述短路部分。
移除所述短路部分可包括:通过向出现所述短路部分的位置辐射离子束来对所述短路部分进行蚀刻。
移除所述短路部分可包括:向出现所述短路部分的位置供给含氟气体。
所述含氟气体可包括二氟化氙(XeF2)。
移除所述短路部分可包括:对出现所述短路部分的位置应用电荷中和器。
移除所述短路部分可包括:对出现所述短路部分的位置应用电荷移除器,其中所述电荷移除器包括:接触单元,在所述接触单元中形成有开口;以及电荷移动单元,连接至所述接触单元。
所述接触单元可包括通过绝缘单元彼此绝缘的第一电极单元和第二电极单元,并且其中所述电荷移动单元连接至所述第一电极单元或所述第二电极单元。
所述有机发光器件可包括第一电极、第二电极以及被布置在所述第一电极和所述第二电极之间的有机发射层,并且其中所述导电图案包括导线图案和所述第一电极。
所述第一电极和所述导线图案可由相同的金属材料形成。
所述FIB可使用镓作为源。
一种修复有机发光显示设备的方法,所述有机发光显示设备包括:基板;形成在所述基板上的有机发光器件;形成在所述基板上的TFT;形成在所述TFT上的有机绝缘层;以及形成在所述有机绝缘层上的导电图案,所述导电图案包括导电元件中的断线,所述方法包括:通过使用聚焦离子束(FIB)来修复所述断线。
修复所述断线可包括:向出现所述断线的位置辐射沉积气体;并且从所述FIB向出现所述断线的位置发射离子束。
修复所述断线可包括:向出现所述断线的位置供给含氟气体。
所述含氟气体可包括二氟化氙(XeF2)。
修复所述断线可包括:对出现所述断线的位置应用电荷中和器。
修复所述断线可包括:对出现所述断线的位置应用电荷移除器,其中所述电荷移除器包括:接触单元,所述接触单元中形成有开口;以及电荷移动单元,连接至所述接触单元。
所述接触单元可包括通过绝缘单元彼此绝缘的第一电极单元和第二电极单元,并且其中所述电荷移动单元连接至所述第一电极单元或所述第二电极单元。
所述有机发光器件可包括第一电极、第二电极以及被布置在所述第一电极和所述第二电极之间的有机发射层,并且其中所述导电图案包括导线图案和所述第一电极。
所述第一电极和所述导线图案可由相同的金属材料形成。
所述FIB可使用镓作为源。
附图说明
从以下结合附图对实施例进行的描述,这些和/或其它方面将变得明显以及更易于理解,在附图中:
图1是图示根据实施例的有机发光显示设备的示意性剖视图;
图2是图示根据实施例的有机发光显示设备的平面图;
图3是图示根据实施例的其中出现短路的有机发光显示设备的一部分的示意性剖视图;
图4是图示根据实施例的其中出现短路的有机发光显示设备的一部分的示意性平面图;
图5是图示根据实施例的其中出现断线的有机发光显示设备的一部分的示意性剖视图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择