[发明专利]修复有机发光显示设备的方法在审
申请号: | 201410389750.2 | 申请日: | 2014-08-08 |
公开(公告)号: | CN104425771A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 李在一;田效理;崔喜娟;朴英吉 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;宋志强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 修复 有机 发光 显示 设备 方法 | ||
1.一种修复有机发光显示设备的方法,所述有机发光显示设备包括:基板;形成在所述基板上的有机发光器件;形成在所述基板上的薄膜晶体管;形成在所述薄膜晶体管上的有机绝缘层;以及形成在所述有机绝缘层上的导电图案,所述导电图案包括所述导电图案中的两个导电元件之间的短路部分,所述方法包括:
通过使用聚焦离子束来移除所述短路部分。
2.根据权利要求1所述的方法,其中移除所述短路部分包括:通过向出现所述短路部分的位置辐射离子束来对所述短路部分进行蚀刻。
3.根据权利要求2所述的方法,其中移除所述短路部分包括:向出现所述短路部分的位置供给含氟气体。
4.根据权利要求3所述的方法,其中所述含氟气体包括二氟化氙。
5.根据权利要求2所述的方法,其中移除所述短路部分包括:对出现所述短路部分的位置应用电荷中和器。
6.根据权利要求2所述的方法,其中移除所述短路部分包括:对出现所述短路部分的位置应用电荷移除器,
其中所述电荷移除器包括:
接触单元,在所述接触单元中形成有开口;以及
电荷移动单元,连接至所述接触单元。
7.根据权利要求6所述的方法,
其中所述接触单元包括通过绝缘单元彼此绝缘的第一电极单元和第二电极单元,并且
其中所述电荷移动单元连接至所述第一电极单元或所述第二电极单元。
8.根据权利要求1所述的方法,
其中所述有机发光器件包括第一电极、第二电极以及被布置在所述第一电极和所述第二电极之间的有机发射层,并且
其中所述导电图案包括导线图案和所述第一电极。
9.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一电极和所述导线图案由相同的金属材料形成。
10.根据权利要求1所述的方法,其中所述聚焦离子束使用镓作为源。
11.一种修复有机发光显示设备的方法,所述有机发光显示设备包括:基板;形成在所述基板上的有机发光器件;形成在所述基板上的薄膜晶体管;形成在所述薄膜晶体管上的有机绝缘层;以及形成在所述有机绝缘层上的导电图案,所述导电图案包括导电元件中的断线,所述方法包括:
通过使用聚焦离子束来修复所述断线。
12.根据权利要求11所述的方法,其中修复所述断线包括:
向出现所述断线的位置辐射沉积气体;并且
从所述聚焦离子束向出现所述断线的位置发射离子束。
13.根据权利要求12所述的方法,其中修复所述断线包括:向出现所述断线的位置供给含氟气体。
14.根据权利要求13所述的方法,其中所述含氟气体包括二氟化氙。
15.根据权利要求12所述的方法,其中修复所述断线包括:对出现所述断线的位置应用电荷中和器。
16.根据权利要求12所述的方法,其中修复所述断线包括:对出现所述断线的位置应用电荷移除器,
其中所述电荷移除器包括:
接触单元,所述接触单元中形成有开口;以及
电荷移动单元,连接至所述接触单元。
17.根据权利要求16所述的方法,
其中所述接触单元包括通过绝缘单元彼此绝缘的第一电极单元和第二电极单元,并且
其中所述电荷移动单元连接至所述第一电极单元或所述第二电极单元。
18.根据权利要求11所述的方法,
其中所述有机发光器件包括第一电极、第二电极以及被布置在所述第一电极和所述第二电极之间的有机发射层,并且
其中所述导电图案包括导线图案和所述第一电极。
19.根据权利要求18所述的方法,其中所述第一电极和所述导线图案由相同的金属材料形成。
20.根据权利要求11所述的方法,其中所述聚焦离子束使用镓作为源。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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