[发明专利]平版印刷用聚合物的制造方法、抗蚀剂组合物的制造方法及形成有图案的基板的制造方法

权利要求书

1.一种平版印刷用聚合物的制造方法，其具有聚合工序和纯化工序，所述聚合工序是使单体在聚合溶剂的存在下聚合，得到含有聚合物的聚合反应溶液的工序，所述纯化工序是将所述聚合反应溶液中的聚合物用再沉淀法纯化，得到纯化聚合物的湿粉的工序，

所述纯化工序包括在过滤压差为50kPa以上的条件下进行过滤的工序，所述纯化聚合物的湿粉的固态成分含量超过40质量％、小于65质量％；

进一步具有将所述纯化聚合物的湿粉溶于良溶剂的工序，直至所述纯化聚合物的湿粉溶于所述良溶剂时的该湿粉的温度为40℃以下。

2.根据权利要求1所述的平版印刷用聚合物的制造方法，所述纯化工序具有再沉淀工序，所述再沉淀工序是将所述聚合反应溶液与不良溶剂混合，使聚合物析出，通过过滤固液分离而得到湿粉的工序。

3.根据权利要求2所述的平版印刷用聚合物的制造方法，进一步实施漂洗工序和再浆化工序中的任一种或两种工序一次以上，得到所述纯化聚合物的湿粉，

所述漂洗工序是使固液分离后的湿粉与漂洗溶剂接触后，通过过滤将该漂洗溶剂脱液而得到湿粉的工序，所述再浆化工序是将固液分离后的湿粉或漂洗后的湿粉与不良溶剂混合后，通过过滤固液分离而得到湿粉的工序。

4.根据权利要求2或3所述的平版印刷用聚合物的制造方法，在氮气气氛下进行所述过滤。

5.根据权利要求4所述的平版印刷用聚合物的制造方法，所述氮气气氛下进行的过滤是加压过滤。

6.一种抗蚀剂组合物的制造方法，具有：通过权利要求1～5中任意一项所述的平版印刷用聚合物的制造方法制造平版印刷用聚合物的工序，和将得到的平版印刷用聚合物与经活性光线或辐射线的照射产生酸的化合物混合的工序。

7.一种形成有图案的基板的制造方法，包括：通过权利要求6所述的抗蚀剂组合物的制造方法制造抗蚀剂组合物的工序，将得到的抗蚀剂组合物涂布于基板的被加工面上而形成抗蚀剂膜的工序，对该抗蚀剂膜曝光的工序和用显影液将曝光后的抗蚀剂膜显影的工序。