[发明专利]压电驻极体薄膜元件及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜元件及该薄膜元件的制备方法，尤其涉及一种压电驻极体薄膜元件及该压电驻极体薄膜元件的制备方法。

背景技术

压电驻极体薄膜是制作各种声电、力电传感器和作动器的敏感材料。压电驻极体薄膜内部储存有永久电荷，为了将其内部电荷感应出来，还需在所述压电驻极体薄膜相对的两个表面设置正负电极，以及用户保护电极的绝缘保护层，这样就形成压电驻极体薄膜元件。直接在压电驻极体薄膜上下面设置正负电极，必需保证上下电极在垂直投影面上对齐。而现有的压电驻极体薄膜通常是孔洞型(如微孔聚丙烯薄膜、微孔聚四氟乙烯薄膜)，其薄膜本身不透明，造成了上下电极对位难的问题。另外，通常压电驻极体薄膜的热变形较大，若采用丝网印刷银电极设置好后一面电极后，其压电驻极体薄膜尺寸发生热胀，使得正负电极产生错位。

若将正负电极设置在透明的保护膜上，则压电驻极体薄膜粘合需要一次性加工成型，其步骤是：1)先将电极设置在保护膜上，2)粘合储存有永久电荷的压电驻极体薄膜，3)再粘合另一层保护膜。然而在实施2)以后，由于压电驻极体薄膜表面带有静电吸附作用，也容易积灰，在进行3)操作时，对位所需的移位的难度较大。

压电驻极体薄膜与保护膜粘合时，通常采用瞬干胶，这种胶有一定的加工时间，不利于长时间操作。另外，瞬干胶固化后其胶变成固态，使得压电驻极体薄膜元件的柔韧性降低。

发明内容

本发明的目的在于提出一种压电驻极体薄膜元件及该压电驻极体薄膜元件的制备方法，该压电驻极体薄膜元件解决目前压电驻极体薄膜元件柔性不佳、正负电极错位问题，该压电驻极体薄膜元件的制备方法目前工业生产出来的压电驻极体薄膜生产过程难度大，需要一次性加工成型，不利于分阶段专业化分批加工的技术问题。本发明压电驻极体薄膜元件柔韧性好，本发明压电驻极体薄膜元件的制备方法加工过程效率高，工艺简单，适合于批量工业生产。

本发明是这样实现的，一种压电驻极体薄膜元件，其包括压电驻极体薄膜(3)、信号电极(401)、第一接地电极(501)、上绝缘保护膜(4)、下绝缘保护膜(5)，上绝缘保护膜(4)、下绝缘保护膜(5)均呈透明状，信号电极(401)、第一接地电极(501)分别通过第一压敏胶(407)、第二压敏胶(503)固定在压电驻极体薄膜(3)的两个相对表面上，上绝缘保护膜(4)、下绝缘保护膜(5)分别覆盖在信号电极(401)、第一接地电极(501)上，上绝缘保护膜(4)上设置有第二接地电极(403)，第二接地电极(403)上设置电极保护层(405)，在上绝缘保护膜(4)和下绝缘保护膜(5)上分别定义出相接的压电驻极体薄膜区域(1)和非压电驻极体薄膜区域(2)，在电驻极体薄膜区域(1)内信号电极(401)的垂直投影小于与第二接地电极(403)的垂直投影，在非压电驻极体薄膜区域(2)内信号电极(401)与第二接地电极(403)两者的引脚垂直投影错位。

作为上述方案的进一步改进，上绝缘保护膜(4)和下绝缘保护膜(5)上分别做有若干定位标记。

本发明还提供上述任意一种压电驻极体薄膜元件的制备方法，其包括以下步骤：

一、设置导电电极：在透明的上绝缘保护膜(4)的相对两侧上设置第二接地电极(403)和信号电极(401)，在透明的下绝缘保护膜(5)的一侧上设置第一接地电极(501)，在上绝缘保护膜(4)和下绝缘保护膜(5)上分别定义出相接的压电驻极体薄膜区域(1)和非压电驻极体薄膜区域(2)；

二、设置电极保护层：在上绝缘保护膜(4)的第二接地电极(403)上设置电极保护层(405)；

三、设置压敏胶：在上绝缘保护膜(4)的压电驻极体薄膜区域(1)中，且在信号电极(401)上依次设置第一压敏胶(407)和第一离型膜(408)，在下绝缘保护膜(5)的压电驻极体薄膜区域(1)中，且在第一接地电极(501)上依次设置第二压敏胶(503)和第二离型膜(504)；

四、粘合非压电驻极体薄膜区：将上绝缘保护膜(4)的非压电驻极体薄膜区域(2)和下绝缘保护膜(5)的非压电驻极体薄膜区域(2)采用第三压敏胶(6)粘合固定，信号电极(401)与第一接地电极(501)位于第三压敏胶(6)的相对两侧，第一离型膜(408)与第二离型膜(504)面面相对；