[发明专利]惰性气体保护储液槽

说明书

本发明揭示了一种惰性气体保护储液槽，包括槽体、盖、液体输入管及液体输出管、气体输入管和气体输出管。槽体形成容纳空间，槽体顶部开口，槽体内容纳液体，液体是易燃或易挥发液体。盖盖在槽体顶部的开口上，盖与开口密封，盖上具有数个接口。液体输入管及液体输出管通过盖上的接口延伸到槽体内部，液体输入管向槽体内输入液体，液体输出管从槽体内取出液体。气体输入管和气体输出管连接到盖上的接口，气体通过气体输入管导入槽体内部，气体由气体输出管导出，气体输入管持续向槽体内导入气体，气体输出管持续将气体导出槽体外，在槽体内液面的上方形成持续的气流，且槽体内的气体维持预定的压力，气体是惰性气体。

技术领域

本发明涉及半导体工艺技术领域，更具体地说，涉及一种用于存储半导体工艺中使用的易燃易挥发液体的储液槽。

背景技术

在半导体工艺过程中，需要使用到各种液体，其中有相当一部分的液体是易燃或者易挥发液体，或者同时具备易燃易挥发的特性，比如高纯度的酒精或者异丙醇(IPA)。在存储这些液体时，会遇到如下的问题：由于装载液体的容器中不可能装满液体，或者随着不断的使用，液体会减少，使得容器中出现空间。而易挥发液体此时就会挥发到容器中的这些空间里，与空气混合。对于易燃易挥发液体来说，挥发后与空气混合是最危险的状态，在温度或者其他因素控制不当的情况下，容易出现爆燃等事故。

因此需要一种能够妥善处置易燃易挥发液体的液体存储装置。

发明内容

本发明旨在提出一种针对易燃或者易挥发液体的液体存储装置，利用惰性气体来隔绝液体与空气。

根据本发明的一实施例，提出一种惰性气体保护储液槽，包括槽体、盖、液体输入管及液体输出管、气体输入管和气体输出管。槽体形成容纳空间，槽体顶部开口，槽体内容纳液体，液体是易燃或易挥发液体。盖盖在槽体顶部的开口上，盖与开口密封，盖上具有数个接口。液体输入管及液体输出管通过盖上的接口延伸到槽体内部，液体输入管向槽体内输入液体，液体输出管从槽体内取出液体。气体输入管和气体输出管连接到盖上的接口，气体通过气体输入管导入槽体内部，气体由气体输出管导出，气体输入管持续向槽体内导入气体，气体输出管持续将气体导出槽体外，在槽体内液面的上方形成持续的气流，且槽体内的气体维持预定的压力，气体是惰性气体。

在一个实施例中，惰性气体是氮气。

在一个实施例中，槽体的侧壁上开设有压力阀，压力阀的位置高于液面的位置，压力阀在槽体内的气体压力大于设定的阈值是开启，排出气体。

在一个实施例中，液体输入管和液体输出管都延伸至槽体的底部。

在一个实施例中，该惰性气体保护储液槽还包括一液位计，液位计通过盖上的接口延伸到槽体的底部，液位计检测槽体内液体的高度。

在一个实施例中，槽体的底部开设有排液口。

在一个实施例中，槽体的底部成倒圆锥型，排液口开设在倒圆锥的锥顶。

本发明的惰性气体保护储液槽在槽体内液面上方的空间内形成惰性气体流，并且在该空间内维持一定的惰性气体压力。惰性气体流一方面可以抑制液体的挥发，另一方面能够隔绝液体与空气。不断循环的惰性气体流还能够将可能存在的液体分子带走，杜绝出现爆燃的可能性。

附图说明

本发明上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变的更加明显，在附图中相同的附图标记始终表示相同的特征，其中：

图1揭示了根据本发明的一实施例的惰性气体保护储液槽的结构图。

具体实施方式