[发明专利]惰性气体保护储液槽有效

专利信息
申请号: 201410366139.8 申请日: 2014-07-29
公开(公告)号: CN105314298B 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 吴均;王家毅;金一诺;王坚;王晖 申请(专利权)人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
主分类号: B65D90/44 分类号: B65D90/44
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 201203 上海市浦东新区中*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 惰性气体 保护 储液槽
【权利要求书】:

1.一种惰性气体保护储液槽,其特征在于,包括:

槽体,槽体形成容纳空间,槽体顶部开口,槽体内容纳液体,所述液体是易燃或易挥发液体;

盖,盖在槽体顶部的开口上,盖与开口密封,所述盖上具有数个接口;

液体输入管及液体输出管,通过盖上的接口延伸到槽体内部,液体输入管向槽体内输入液体,液体输出管从槽体内取出液体;

气体输入管和气体输出管,连接到盖上的接口,气体通过气体输入管导入槽体内部,气体由气体输出管导出,所述气体输入管持续向槽体内导入气体,气体输出管持续将气体导出槽体外,在槽体内液面的上方形成持续的气流,且槽体内的气体维持预定的压力,所述气体是惰性气体。

2.如权利要求1所述的惰性气体保护储液槽,其特征在于,所述槽体的侧壁上开设有压力阀,压力阀的位置高于液面的位置,所述压力阀在槽体内的气体压力大于设定的阈值时开启,排出气体。

3.如权利要求1所述的惰性气体保护储液槽,其特征在于,所述液体输入管和液体输出管都延伸至槽体的底部。

4.如权利要求1所述的惰性气体保护储液槽,其特征在于,还包括一液位计,所述液位计通过盖上的接口延伸到槽体的底部,液位计检测槽体内液体的高度。

5.如权利要求1所述的惰性气体保护储液槽,其特征在于,

所述槽体的底部开设有排液口。

6.如权利要求5所述的惰性气体保护储液槽,其特征在于,所述槽体的底部成倒圆锥型,所述排液口开设在倒圆锥的锥顶。

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