[发明专利]用于制造有机发光显示器的方法

说明书

提供了一种用于制造有机发光显示器的方法，所述方法包括下述步骤：准备具有中空部分的台子和位于台子上或上方并且结合到掩模片的掩模框架；获得台子与掩模框架之间的距离信息；确定获得的台子与掩模框架之间的距离信息是否对应于参考距离信息；以及控制源单元以向着台子提供薄膜形成材料。

本申请要求于2013年8月9日在韩国知识产权局提交的第10-2013-0094940号韩国专利申请的权益，本申请的公开通过引用全部包含于此。

技术领域

本发明涉及一种用于制造有机发光显示器的设备和方法，更具体地涉及一种用于制造大面积有机发光显示器的设备和方法。

背景技术

在屏幕上显示各种信息的显示装置是信息和通信时代的核心技术，并且，已经被开发为使得显示装置是薄的、重量轻的且便携式的，而且显示装置的性能也得以改善。因此，与阴极射线管(CRT)相比可以减少显示器的重量和体积的平板显示器(例如，有机发光显示器)备受瞩目。

有机发光显示器可以包括电极和包括发光层的中间层，并且电极和中间层可以通过各种方法(一种这样的方法是真空沉积工艺)来形成。

为了形成有机发光显示器的有机材料层，广泛地使用用于将有机材料沉积在基板上的真空沉积工艺，并且在这样的真空沉积工艺中，可以使用用于注入在真空室中蒸发的有机材料的沉积源。在真空沉积工艺中，基板被布置在具有特定形状的开口(aperture)的掩模上或上方，沉积源从掩模的一侧向着基板提供用于形成薄膜的材料。为了利用真空沉积方法来制造高分辨率有机发光显示器，沉积材料应该被准确地沉积到基板上，为此，基板和掩模之间的距离应该保持恒定不变。

发明内容

因此，根据本发明的实施例的一个方面是用于制造有机发光显示器的设备，该设备可以实时地测量台子(stage)与掩模框架之间的距离，并且，当在工艺期间台子与掩模框架之间的距离变得不正常时可以立即采取跟进措施。

根据本发明的实施例的另一个方面是用于制造有机发光显示器的设备，该设备可以保持台子与掩模框架之间的距离恒定不变，由此，可以减少或者防止由于台子与掩模框架之间的不正常的距离所导致的产品劣性(例如，产品缺陷)的发生。

根据本发明的实施例的另一个方面是用于制造有机发光显示器的方法，该方法可以实时地测量台子和掩模框架之间的距离，并且当在工艺期间台子与掩模框架之间的距离变得不正常时可以立即采取跟进措施。

根据本发明的实施例，一种用于制造有机发光显示器的设备包括：腔室(chamber)；具有中空部分的台子；位于台子上并被构造为测量位于台子的上部上或上方的测量对象与台子之间的距离的位移传感器；以及控制器。控制器包括：输入单元，被构造为接收由位移传感器获得的距离信息；存储单元，被构造为存储参考距离信息；确定单元，被构造为将由输入单元接收到的获得的距离信息与参考距离信息进行比较；以及输出单元，被构造为根据确定单元确定获得的台子与测量对象之间的距离信息是否对应于参考距离信息来输出可变控制信号。

根据本发明的另一个实施例，一种用于制造有机发光显示器的方法包括：准备具有中空部分的台子和位于台子上或上方并结合到掩模片的掩模框架；获得台子与掩模框架之间的距离信息；确定获得的台子与掩模框架之间的距离信息是否对应于参考距离信息；以及控制源单元以向着台子提供薄膜形成材料。

获得台子与掩模框架之间的距离信息的步骤可以包括利用台子上的位移传感器来测量台子与掩模框架之间的距离。

确定获得的台子与掩模框架之间的距离信息是否对应于参考距离信息的步骤可以由控制器执行，控制器可以包括：输入单元，接收获得的台子和掩模框架之间的距离信息；存储单元，存储参考距离信息；以及确定单元，确定获得的台子与掩模框架之间的距离信息是否对应于参考距离信息。

控制器还可以包括根据确定单元确定获得的台子与掩模框架之间的距离信息是否对应于参考距离信息来输出可变控制信号的输出单元。