[发明专利]用于制造有机发光显示器的方法

权利要求书

1.一种用于制造有机发光显示器的设备，所述设备包括：

腔室；

台子，设置在腔室中以具有中空部分，所述中空部分朝向腔室的顶表面和底表面开口；

位移传感器，设置在台子上以测量台子与位于台子上或上方的测量对象之间的距离信息；以及

控制器，被构造成基于由位移传感器测量的距离信息输出控制信号，

其中，控制器包括：输入单元，接收由位移传感器测量的距离信息；存储单元，存储预定的参考距离信息；确定单元，确定由输入单元接收的距离信息是否被包括在参考距离信息中；以及输出单元，基于由确定单元确定的信息输出控制信号。

2.根据权利要求1所述的设备，所述设备还包括设置在台子下方的源单元和驱动源单元的驱动单元，其中，驱动单元接收控制信号来控制源单元。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，源单元包括具有熔炉和用于加热熔炉的加热器的沉积源。

4.根据权利要求1所述的设备，所述设备还包括接收控制信号以产生警报的警报产生装置。

5.根据权利要求1所述的设备，所述设备还包括：显示单元，显示由位移传感器测量的距离信息，或者显示由位移传感器测量的距离信息是否被包括在参考距离信息中。

6.根据权利要求1所述的设备，所述设备还包括设置在台子上或上方并且结合到掩模片的掩模框架，其中，位移传感器测量台子与掩模框架之间的距离信息。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，当确定单元确定由位移传感器测量的距离信息被包括在参考距离信息中时，输出单元输出第一控制信号，当确定单元确定由位移传感器测量的距离信息偏离参考距离信息时，输出单元输出第二控制信号。

8.根据权利要求6所述的设备，其中，位移传感器设置在掩模框架与台子之间。

9.根据权利要求6所述的设备，其中，台子包括从台子的上表面向下凹进的座部，掩模框架安置在座部上。

10.根据权利要求9所述的设备，其中，座部包括从座部的上表面向下凹进的容纳槽，位移传感器被容纳在容纳槽中。

11.根据权利要求7所述的设备，其中，基板设置在掩模片上，

其中，控制器还包括：操作单元，基于由位移传感器测量的台子与掩模框架之间的距离信息来估计台子与基板之间的距离信息，

其中，确定单元确定由操作单元估计的距离信息是否被包括在参考距离信息中，以及

其中，当确定单元确定由操作单元估计的距离信息被包括在参考距离信息中时，输出单元输出第一控制信号，当确定单元确定由操作单元估计的距离信息偏离参考距离信息时，输出单元输出第二控制信号。

12.根据权利要求6所述的设备，其中，掩模片是精细金属掩模。

13.根据权利要求1所述的设备，其中，所述位移传感器包括多个位移传感器，

其中，确定单元确定由所述多个位移传感器测量的多个距离信息中的每个距离信息是否被包括在参考距离信息中，

其中，当确定单元确定所有的所述多个距离信息被包括在参考距离信息中时，输出单元输出第一控制信号，当确定单元确定所述多个距离信息中的至少一个距离信息偏离参考距离信息时，输出单元输出第二控制信号。

14.根据权利要求13所述的设备，其中，台子包括从台子的上表面向下凹进的多个容纳槽，所述多个位移传感器被容纳在所述多个容纳槽中。

15.根据权利要求1所述的设备，所述设备还包括设置在台子上或上方以固定或传送测量对象的卡盘。