[发明专利]湿法刻蚀装置及其刻蚀方法

权利要求书

1.一种湿法刻蚀装置，包括刻蚀槽(110)及设置在刻蚀槽(110)之内的多根滚轮(120)，所述多根滚轮(120)用于承载待刻蚀的基板(150)，其特征在于，所述湿法刻蚀装置还包括浸泡槽(130)及升降器(140)，其中，所述浸泡槽(130)设置在所述刻蚀槽(110)之内，并位于所述滚轮(120)之下，所述升降器(140)设置在所述浸泡槽(130)的底板(131)的下表面上，所述升降器(140)推动所述浸泡槽(130)上升或下降，以使所述浸泡槽(130)中的刻蚀液浸没或脱离所述待刻蚀的基板(150)。

2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀装置，其特征在于，所述浸泡槽(130)的第一侧板(132)和第二侧板(133)的厚度均小于任意两根所述滚轮(120)之间的最小间隔。

3.根据权利要求1或2所述的湿法刻蚀装置，其特征在于，所述浸泡槽(130)的第一侧板(132)和第二侧板(133)均沿竖直方向下降，以使所述第一侧板(132)和第二侧板(133)的顶面平齐于或低于所述底板(131)的上表面，从而使所述浸泡槽(130)中已使用的刻蚀液完全排出。

4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀装置，其特征在于，所述湿法刻蚀装置还包括第一电磁阀(161)和第二电磁阀(162)，其中，所述第一电磁阀(161)设置在所述第一侧板(132)上，用于控制所述第一侧板(132)上升或下降，所述第二电磁阀(162)设置在所述第二侧板(133)上，用于控制所述第二侧板(133)上升或下降。

5.根据权利要求1所述的湿法刻蚀装置，其特征在于，所述浸泡槽(130)由聚氯乙烯材料形成。

6.根据权利要求1所述的湿法刻蚀装置，其特征在于，所述升降器(140)的外表面包裹耐腐蚀性材料。

7.根据权利要求4所述的湿法刻蚀装置，其特征在于，所述第一电磁阀(161)和第二电磁阀(162)的外表面均包裹耐腐蚀性材料。

8.一种权利要求1至7任一项所述的湿法刻蚀装置的刻蚀方法，其特征在于，包括：

利用多根滚轮(120)将待刻蚀的基板(150)传送至刻蚀槽(110)中，同时在浸泡槽(130)中注满刻蚀液；

利用升降器(140)推动所述浸泡槽(130)上升，以使所述浸泡槽(130)中的刻蚀液浸没所述待刻蚀的基板(150)，对所述待刻蚀的基板(150)进行刻蚀。

9.根据权利要求8所述的刻蚀方法，其特征在于，还包括：

在所述待刻蚀的基板(150)刻蚀完成之后，利用升降器(140)推动所述浸泡槽(130)下降，以使刻蚀液脱离经刻蚀的基板(150)。

10.根据权利要求9所述的刻蚀方法，其特征在于，还包括：

将所述浸泡槽(130)的相对的第一侧板(132)和第二侧板(133)沿竖直方向下降，以使所述第一侧板(132)和第二侧板(133)的顶面平齐于或低于所述底板(131)的上表面，从而使所述浸泡槽(130)中已使用的刻蚀液完全排出。