[发明专利]用于硅片扩散的石英舟在审
申请号: | 201410350811.4 | 申请日: | 2014-07-23 |
公开(公告)号: | CN104103563A | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 陈文学 | 申请(专利权)人: | 济南晶博电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C30B31/14 |
代理公司: | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人: | 王汝银 |
地址: | 250200 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 硅片 扩散 石英 | ||
技术领域
本发明涉及一种硅片扩散工艺中用的石英舟。
背景技术
硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中,通以氮气和POCL3 等气体,在高温下分解后在硅片表面形成P-N 结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道,扩散时,首先将硅片放在石英舟上,然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。目前的石英舟都是纵向排列硅片的,由于气体在管道中横向流通,因此纵向排列的硅片对气体有阻挡,影响硅片的扩散,而且,现有的石英舟的一端仅有一个圆环,在用带钩的石英杆或金属杆将石英舟从管道中拉出时,石英杆或金属杆上的钩很难对准圆环,而且盲目的操作杆子可能会损坏石英舟和硅片。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的缺点,本发明的目的在于提供一种可横向排列硅片,方便用石英杆推拉的用于硅片扩散的石英舟。
为了解决上述问题,本发明采用以下技术方案:一种用于硅片扩散的石英舟,其特征在于,包括舟架、挡板和横梁,所述舟架为长方形,在其一端设置有挂鼻,所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处,挡板上设置有若干通孔;每两个相邻所述横梁为一组硅片座,在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。
进一步的,在所述舟架的前后两端的底部设置有支架,所述支架的底部为与高温扩散炉的管道相配合的弧形。
优选的,所述挂鼻为三角形。
本发明的有益效果是:硅片可以横向放置在舟架上,保证气体顺畅流通,提高了硅片扩散效率和质量;每两个相邻横梁上都可以放置硅片,提高了单个石英舟盛放硅片的数量;通过挡板与三角形挂鼻的配合,方便石英杆对石英舟的推拉操作。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明:
图1为本发明的俯视图;
图2为本发明的左视图;
图3为本发明的主视图;
图4为图1中沿A-A的剖视图。
图中,1舟架、11挂鼻、12支架、2挡板、21通孔、3横梁、31弧形卡槽、4硅片座。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细说明:
如图1至图4所示,本发明的具体实施例包括舟架1、挡板2和横梁3。
所述舟架1为长方形,在其一端设置有挂鼻11,所述挡板2固定在挂鼻11与舟架1交界处,挡板2上设置有若干通孔21,通孔21的作用是保证高温扩散炉的管道内的气体流畅。当然,舟架1的两端均可以设置一个挂鼻11和挡板2。优选的,所述挂鼻11设计成三角形,这样,石英杆上的挂钩可以很容易的勾住挂鼻11。挡板2的作用既可以防止石英杆在勾取石英舟时碰到硅片,将硅片碰掉,也可以挡住石英杆,使其正好落入挂鼻11内。
每两个相邻所述横梁3为一组硅片座4,在每一组硅片座4的横梁3内侧相对设置有弧形卡槽31,当圆形硅片放在硅片座4上后,正好卡入左右两侧的横梁3的弧形卡槽31内。如图1所示,横梁3左右两侧的弧形卡槽31为间隔设置,这样可以最大限度的利用横梁的空间,使三根横梁3即可组成两组硅片座4,使石英舟上放置更多的硅片。
为了保证管道内的气流可以从石英舟的上下两侧通过,在所述舟架1的前后两端的底部设置有支架12,所述支架12的底部为与高温扩散炉的管道相配合的弧形,弧形的底部可以保证石英舟稳固的放置在管道内。此外,加上支架12还有另一个作用:当直径比较小的硅片放在硅片座4上时,如果没有支架12,硅片的底部可能会与管道接触,造成硅片不稳固,甚至倾倒。
以上所述只是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。
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