[发明专利]用于硅片扩散的石英舟

说明书

技术领域

    本发明涉及一种硅片扩散工艺中用的石英舟。

背景技术

硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3 等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N 结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。目前的石英舟都是纵向排列硅片的，由于气体在管道中横向流通，因此纵向排列的硅片对气体有阻挡，影响硅片的扩散，而且，现有的石英舟的一端仅有一个圆环，在用带钩的石英杆或金属杆将石英舟从管道中拉出时，石英杆或金属杆上的钩很难对准圆环，而且盲目的操作杆子可能会损坏石英舟和硅片。

发明内容

为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种可横向排列硅片，方便用石英杆推拉的用于硅片扩散的石英舟。

    为了解决上述问题，本发明采用以下技术方案：一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。

    进一步的，在所述舟架的前后两端的底部设置有支架，所述支架的底部为与高温扩散炉的管道相配合的弧形。

    优选的，所述挂鼻为三角形。

    本发明的有益效果是：硅片可以横向放置在舟架上，保证气体顺畅流通，提高了硅片扩散效率和质量；每两个相邻横梁上都可以放置硅片，提高了单个石英舟盛放硅片的数量；通过挡板与三角形挂鼻的配合，方便石英杆对石英舟的推拉操作。

附图说明

    下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明：

图1为本发明的俯视图；

图2为本发明的左视图；

图3为本发明的主视图；

图4为图1中沿A-A的剖视图。

图中，1舟架、11挂鼻、12支架、2挡板、21通孔、3横梁、31弧形卡槽、4硅片座。

具体实施方式

    下面结合附图对本发明做进一步详细说明：

如图1至图4所示，本发明的具体实施例包括舟架1、挡板2和横梁3。

所述舟架1为长方形，在其一端设置有挂鼻11，所述挡板2固定在挂鼻11与舟架1交界处，挡板2上设置有若干通孔21，通孔21的作用是保证高温扩散炉的管道内的气体流畅。当然，舟架1的两端均可以设置一个挂鼻11和挡板2。优选的，所述挂鼻11设计成三角形，这样，石英杆上的挂钩可以很容易的勾住挂鼻11。挡板2的作用既可以防止石英杆在勾取石英舟时碰到硅片，将硅片碰掉，也可以挡住石英杆，使其正好落入挂鼻11内。

每两个相邻所述横梁3为一组硅片座4，在每一组硅片座4的横梁3内侧相对设置有弧形卡槽31，当圆形硅片放在硅片座4上后，正好卡入左右两侧的横梁3的弧形卡槽31内。如图1所示，横梁3左右两侧的弧形卡槽31为间隔设置，这样可以最大限度的利用横梁的空间，使三根横梁3即可组成两组硅片座4，使石英舟上放置更多的硅片。

    为了保证管道内的气流可以从石英舟的上下两侧通过，在所述舟架1的前后两端的底部设置有支架12，所述支架12的底部为与高温扩散炉的管道相配合的弧形，弧形的底部可以保证石英舟稳固的放置在管道内。此外，加上支架12还有另一个作用：当直径比较小的硅片放在硅片座4上时，如果没有支架12，硅片的底部可能会与管道接触，造成硅片不稳固，甚至倾倒。

以上所述只是本发明的优选实施方式，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。