[发明专利]一种便于在线维护的膜厚监控设备及其维护工艺

权利要求书

1.一种便于在线维护的膜厚监控设备，所述的设备主要包括监控系统、控制系统和工作炉体，监控系统与工作炉体连接，控制系统与监控系统电性相连；其特征在于：所述的监控系统包括监控探测仪、腔体和密封端盖，监控探测仪为带有监控探头的长条杆状，可伸缩移动安装在腔体内部，从腔体一端贯穿腔体内部延伸到另外一端；当监控探测仪处于工作状态时，控制系统控制监控探测仪往密封端盖方向伸长移动，使得探头部分贯穿密封端盖延伸在腔体外；当监控探测仪处于维护状态时，控制系统控制监控探测仪背向密封端盖侧收缩移动，使得探头部分收缩在腔体内部；腔体正对收缩在腔体内部的探头位置上开设有通孔，通孔上安装有阀门，打开阀门后腔体内部通过阀门与外界环境相通，维护工具可以从阀门进入腔体内部对监控探测仪或探头进行维护，关闭阀门使得通孔处于密封状态；腔体上安装有气阀，气阀上连接有压力计；

所述的腔体一端开口，密封端盖安装在腔体开口端，腔体通过密封端盖与工作炉体连接；

所述的密封端盖密封镶嵌在工作炉体内部，当密封端盖关闭时，腔体内部与外界环境隔绝密封，当密封端盖打开时，腔体内部与外界环境相通。

2.根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的监控探测仪通过与气缸或马达连接可伸缩移动式安装在腔体内部。

3.根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的腔体为一端开口的圆柱体状。

4.根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的气阀可对腔体内部进行放气或抽气操作，压力计显示腔体内部的气压情况。

5.根据权利要求1所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的密封端盖包括滑轨结构和密封块，滑轨结构直接安装在腔体的开口端上，密封块的厚度与滑轨结构上的滑槽相适配构成滑动连接，密封块沿着滑槽移动可打开或密封腔体。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备，其特征在于：所述的设备在正常工作时，监控系统通过将密封端盖密封镶嵌在工作炉体内部使得监控系统与工作炉体连接成一体。

7.使用权利要求5所述的一种便于在线维护的膜厚监控设备的维护工艺，所述的维护工艺主要包括正常工作工艺和需要维护工艺，其特征在于：

当设备处于正常工作状态时，监控探测仪的探头部分处于收缩状态收缩在腔体内部，使膜厚监控设备正常工作的工艺是，控制系统控制密封块沿着滑轨结构的滑槽移动以关闭密封腔体，并控制气阀对腔体内部进行抽气操作，通过压力计可以直观的观测到腔体内部的气压情况，直到腔体内部的空气被抽尽处于真空状态后关闭气阀，然后控制密封块沿着滑轨结构的滑槽移动打开腔体与工作炉体的真空环境相通，驱动监控探测仪往密封端盖方向伸长移动，使得探头部分贯穿密封端盖延伸在腔体外处于工作炉体的内部环境，进行正常制膜或镀膜时监控膜厚和速率；

当设备处于需要维护状态时，监控探测仪的探头部分处于伸长状态延伸在腔体外部及工作炉体的内部，对膜厚监控设备进行维护的工艺是，控制系统驱动监控探测仪背向密封端盖方向收缩移动，使得探头部分脱离工作炉体工作环境收缩在腔体内部，然后控制密封块沿着滑轨结构的滑槽移动以关闭密封腔体，并控制气阀对腔体内部进行放气操作，通过压力计可以直观的观测到腔体内部的气压情况，直到腔体内部充满空气处于非真空状态后打开阀门，使得腔体内部环境通过阀门与外界非真空环境相通，然后机械手或人工通过阀门进入腔体内部对监控探测仪或监控探测仪的探头进行更换、修理、养护维护工作。