[发明专利]阵列基板的制作方法及设备

权利要求书

1.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

对基板上将要涂覆不透光感光材料的表面的边缘位置以及对位位置进行疏油处理；

在经过疏油处理的基板表面涂覆亲油性的不透光感光材料。

2.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述对基板上将要涂覆不透光感光材料的表面的边缘位置以及对位位置进行疏油处理包括：

在所述基板的所述边缘位置以及所述对位位置上涂覆疏油药液。

3.根据权利要求2所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述疏油药液包括全氟辛酸盐分散液。

4.根据权利要求2所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述在所述基板的所述边缘位置以及所述对位位置上涂覆疏油药液包括：

使所述基板沿辊轮传输，所述辊轮与所述基板上将要涂覆不透光感光材料的表面的边缘位置接触，所述辊轮的表面涂覆有疏油药液，当所述辊轮通过转动带动所述基板运动时，将自身表面涂覆的疏油药液涂覆在所述边缘位置上；

所述基板将要涂覆不透光感光材料的表面上方设置有吸收有疏油药液的清洗头，所述辊轮通过转动带动所述基板运动，在所述基板运动到所述清洗头位于所述对位位置正上方时停止，控制所述清洗头与所述对位位置相接触，以便所述清洗头将疏油药液涂覆在所述对位位置上，之后控制所述清洗头与所述对位位置脱离接触。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的阵列基板的制作方法，其特征在于，所述在经过疏油处理的基板表面涂覆亲油性的不透光感光材料包括：

在经过疏油处理的基板表面涂覆不透光的亲油性光刻胶。

6.一种阵列基板的制作设备，其特征在于，所述制作设备包括：

疏油处理装置，用于对基板上将要涂覆不透光感光材料的表面的边缘位置以及对位位置进行疏油处理；

涂覆装置，用于在经过疏油处理的基板表面涂覆亲油性的不透光感光材料。

7.根据权利要求6所述的阵列基板的制作设备，其特征在于，所述疏油处理装置用于在所述基板的所述边缘位置以及所述对位位置上涂覆疏油药液。

8.根据权利要求7所述的阵列基板的制作设备，其特征在于，所述疏油处理装置包括总药液导管、药液周转及传递组件、辊轮、设置在所述辊轮上方的横梁、固定在所述横梁两端的自动伸缩杆和位于所述自动伸缩杆顶端的清洗头，其中，

所述总药液导管，用于导入疏油药液；

所述药液周转及传递组件的输入端与所述总药液导管的输出端口紧密连接，一输出端与所述辊轮的圆柱侧面接触，另一输出端与所述清洗头连接；

所述总药液导管用于通过所述药液周转及传递组件将所述疏油药液涂覆在所述辊轮的表面上以及所述清洗头上；

所述辊轮与基板上将要涂覆不透光感光材料的表面的边缘位置接触，用于在通过转动带动所述基板运动时，将自身表面涂覆的药液涂覆在所述基板上将要涂覆不透光感光材料的表面的边缘位置；

在所述基板运动到所述清洗头位于所述对位位置正上方时停止，所述自动伸缩杆用于控制所述清洗头与所述对位位置相接触，在所述清洗头将疏油药液涂覆在所述对位位置上之后，控制所述清洗头与所述对位位置脱离接触。

9.根据权利要求8所述的阵列基板的制作设备，其特征在于，所述药液周转及传递组件包括药液传递部件和与所述药液传递部件连接的药液导管，所述药液导管与所述总药液导管的输出端口紧密连接。

10.根据权利要求9所述的阵列基板的制作设备，其特征在于，所述药液传递部件为海绵或棉球。