[发明专利]振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体

说明书

提供振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够提高耐冲击性和Q值。在振动片(2)中，基部(4)包含第1基部(41)、第2基部(42)和连结部(43)，基部(4)包含设置于(43)的第1基部(41)侧的端部、且沿着X轴方向的宽度随着朝向第2基部(42)而连续减小的宽度缩小部(411)，俯视时宽度缩小部(411)的外缘和连结部(43)的外缘为不包含角部的连续的线，在设该曲线的第1基部(41)侧的部分的切线与平行于X轴方向的线段所成的角为θ时，满足0°＜θ＜90°的关系。

技术领域

本发明涉及振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。

背景技术

作为振子，公知有所谓的两脚音叉型的石英振子(例如参照专利文献1)。这样的振子具有的振动片例如专利文献1所公开的那样，具有基部、和从该基部起以彼此平行的方式延伸的两个振动臂，使两个振动臂以彼此交替反复接近和远离的方式在面内方向上进行弯曲振动。

专利文献2的振动片具有沿着振动臂排列的方向切除基部而成的缺口部。该缺口部在利用湿蚀刻形成时，由于过蚀刻而在缺口部的基部的中央侧的末端部分形成朝所述末端部分突出的楔状的部分，从而应力容易集中，为了解决这一问题，通过在缺口部的沿着所述振动臂排列的方向的开口侧设置倾斜部，成为缺口部的沿着振动臂的延伸方向的宽度随着朝向所述开口侧而增宽的形状，由此抑制过蚀刻，使得不会形成朝所述末端部分突出的楔状的部分，从而提高了耐冲击性。

但是，在专利文献2的振动片中，如图17所示，在俯视时的缺口部在振动臂侧的外缘处，曲线12与直线12a的连接部具有曲率不连续的角部A，因此应力容易集中到该角部A，从而存在无法充分提高耐冲击性的问题。

【专利文献1】日本特开2011-223229号公报

【专利文献2】日本特开2011-176665号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能够减少缺口部的应力集中的振动片，并提供具有该振动片的振子、振荡器、电子设备以及移动体。

本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下应用例来实现。

[应用例1]本发明的振动片的特征在于，该振动片包含：基部；以及一对振动臂，它们从所述基部的一端沿第1方向延伸，且沿与所述第1方向交叉的第2方向排列，所述基部包含：包含所述一端的第1基部；第2基部，其在俯视时设置于所述第1基部的与所述一端的一侧相反的一侧；以及连结部，其连结所述第1基部和所述第2基部，在所述基部中设置有缺口部，所述缺口部沿着所述第2方向与所述连结部并排，且沿着所述第1方向的宽度随着朝向外侧而变宽，在所述基部的主面上，所述缺口部的所述一端的一侧的一端侧外缘、和所述缺口部的与所述一端相反的一侧的另一端侧的另一端侧外缘关于通过所述缺口部的沿着所述第2方向的第1假想线不对称，且所述一端侧外缘中的、比通过所述缺口部的沿着所述第2方向的宽度的中心并沿着所述第1方向的第2假想线靠所述连结部的中央侧的外缘是不包含角部的线，在设该外缘的切线与所述第1假想线所成的角为θ时，满足0°＜θ＜90°的关系。

根据这样的振动片，基部包含第1基部、第2基部和连结部，由此能够缩短基部的沿着第1方向的长度，并且减小振动泄漏。

特别是，基部包含宽度缩小部，由此能够有效减少伴随一对振动臂彼此在同一面内交替反复接近和远离的弯曲振动的、第1基部的变形。其结果，即使缩短第1基部的沿着第1方向的长度，也能够抑制伴随一对振动臂在大致面内彼此交替反复接近和远离的弯曲振动的、第1基部的变形，减少从基部向外部的振动泄漏。

而且，能够通过将俯视时的第1基部和连结部的外缘形状最优化，缓和在基部产生的应力，并且减少热弹性损耗。

因此，本发明的振动片能够提高耐冲击性和Q值。

[应用例2]在本发明的振动片中，优选的是，满足6°≤θ≤70°的关系。