[发明专利]振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体有效
| 申请号: | 201410338689.9 | 申请日: | 2014-07-16 |
| 公开(公告)号: | CN104300934B | 公开(公告)日: | 2018-12-04 |
| 发明(设计)人: | 山田明法 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H03H9/02 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 振动 振荡器 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种振动片,其特征在于,该振动片包含:
基部;以及
一对振动臂,它们从所述基部的一端沿第1方向延伸,且沿与所述第1方向交叉的第2方向排列,
所述基部包含:
包含所述一端的第1基部;
第2基部,其在俯视时设置于所述第1基部的与所述一端的一侧相反的一侧;以及
连结部,其连结所述第1基部和所述第2基部,
在所述基部中设置有缺口部,所述缺口部沿着所述第2方向与所述连结部并排,且沿着所述第1方向的宽度随着朝向外侧而连续地变宽,
在所述基部的主面上,所述缺口部的所述一端的一侧的一端侧外缘、和所述缺口部的与所述一端相反的一侧的另一端侧的另一端侧外缘关于通过所述缺口部的沿着所述第2方向的第1假想线不对称,
且所述一端侧外缘是不包含角部的线,
在设所述一端侧外缘中的、比通过所述缺口部的沿着所述第2方向的宽度的中心并沿着所述第1方向的第2假想线靠所述连结部的中央侧的外缘的切线与所述第1假想线所成的角为θ时,满足0°<θ<90°的关系。
2.根据权利要求1所述的振动片,其特征在于,
满足6°≤θ≤70°的关系。
3.根据权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
在设所述第1基部的沿着所述第2方向的宽度为S1、设所述连结部的沿着所述第2方向的最小宽度为S2时,S2/S1为0.3以上0.6以下。
4.根据权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
所述振动臂在俯视时包含:
施重部;以及
臂部,其配置于所述基部与所述施重部之间。
5.根据权利要求4所述的振动片,其特征在于,
所述施重部的沿着所述第2方向的宽度比所述臂部大。
6.根据权利要求5所述的振动片,其特征在于,
在设所述臂部的沿着所述第2方向的宽度为W1、设所述施重部的沿着所述第2方向的宽度为W2时,W2/W1为1.43以上1.79以下。
7.根据权利要求4所述的振动片,其特征在于,
在所述振动臂的彼此处于正反关系的第1主面和第2主面中的至少一个主面上,沿着所述第1方向设置有槽部。
8.根据权利要求7所述的振动片,其特征在于,
在设置有所述槽部的所述主面上,在设所述臂部的沿着所述第2方向的宽度为W1、设侧面与所述槽部的外缘夹着的部分的沿着所述第2方向的宽度为W3、设2×W3/W1为η时,满足20%≤η≤50%的关系,
其中,所述侧面连接所述第1主面和所述第2主面,所述槽部沿着所述第2方向和所述侧面并排。
9.根据权利要求8所述的振动片,其特征在于,
满足30%≤η≤40%的关系。
10.根据权利要求4所述的振动片,其特征在于,
所述臂部的厚度为115μm以上150μm以下。
11.根据权利要求1或2所述的振动片,其特征在于,
所述振动片包含设置在所述振动臂上的激励电极,
所述激励电极包含:
基底层;以及
层叠于所述基底层的与所述振动臂相反的一侧的被覆层,
在设所述基底层的厚度为Tb、设所述被覆层的厚度为Tc时,
满足Tb/Tc≤4/7的关系。
12.根据权利要求11所述的振动片,其特征在于,
所述基底层由铬构成,
所述基底层的厚度为以上以下。
13.一种振子,其特征在于,该振子具有:
权利要求1或2所述的振动片;以及
收纳有所述振动片的封装。
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